Dual axis drive yöntemiyle vrg için sistem hassasiyeti artırma
Increasing system sensitivity for vrg by applying dual axis drive
- Tez No: 637245
- Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ HASAN GÖKTAŞ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2020
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Harran Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu makalede Vibratory Rate Gyroscope (VRG) için sistem hassasiyetini arttıracak bir yöntem önerilmiştir ve Finite Element Analysis (FEA) yöntemiyle analiz edilmiştir. MEMS teknolojisinde üretilen cihazlar fabrikasyon yöntemlerinin elverdiği ölçüde minimum boyutlarda üretilirler. Küçülen boyutlar, sistem outputundan okunan değerlerinde küçük olmasına ve noiseden kolayca etkilenebilmesine neden olmaktadır. VRG cihazlar için sistem hassasiyetini belirleyen sense outputundan okunan kapasite değeri birkaç femtofarad seviyesinde olmaktadır. Outputtan okunan değerin yükseltilmesi hem mekanik ve elektronik noiseden etkilenmesini azaltmayı sağlamakta hem de sistem hassasiyetinin artmasına neden olmaktadır. Klasik tasarımda comb drive ile tek yönde salınım yapan mass, decoupling frame üzerine eklenen Paralel Plate Actuator (PPA) yardımıyla sense ekseninde de salınım yapması sağlanmıştır. Bu sayede sistem outputundan alınan değerin klasik yönteme göre %30.11 kadar artmasına ve sistem hassasiyetinin yükselmesine neden olmuştur. Bu çalışmada 2-DOF (degree of freedom) drive-modunda, 1-DOF sense-modunda olacak şekilde gyroscope tasarımı yapılmıştır. Bunlardan ikisi drive ve sense modu oluştururken diğer frame ise hem iki modu birbirinden ayırmak hem de eklenen elektrot için drive görevini görecek decoupling frame'den oluşur.
Özet (Çeviri)
In this article, a method to increase system sensitivity is proposed for Vibratory Rate Gyroscope (VRG) and analyzed by Finite Element Analysis (FEA) method. The devices produced in MEMS technology are produced in minimum dimensions as far as the fabrication methods allow. The diminished dimensions cause it to be small in the values read from the system output and can be easily affected by the noise. For VRG devices, the capacity value read from the sense output, which determines the system sensitivity, is at several femtofarad levels. Increasing the value read from the output not only affects the mechanical and electronic noise, but also increases the system sensitivity. In the classic design, the mass that oscillates in one direction with the comb drive also oscillates on the sense axis with the help of Parallel Plate Actuator (PPA) added on the decoupling frame. In this way, the value obtained from the system output increases by %30.11 compared to the classical method and increases the system sensitivity. Gyroscope was designed to be in 2-DOF (degree of freedom) drive-mode and 1-DOF sense-mode. While two of them create drive and sense modes, the other frame is decoupling frame, which will both act as a drive for separating the two modes and for the added electrode.
Benzer Tezler
- Örnekle-tut ve analogtan dijitale çevirme devrelerinin analiz ve sentezi
Başlık çevirisi yok
ERTUĞRUL İPEK
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiUludağ ÜniversitesiElektronik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERGÜR TÜTÜNCÜOĞLU
- Investigation of the effects of Kayabaşı series capacitors on 380 KV Turkish power system
Başlık çevirisi yok
SERDAR TÜMER
Yüksek Lisans
İngilizce
1987
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiDOÇ. DR. NEVZAT ÖZAY