Analyset of silicon based thin films by fourier transfer infrared spectroscopy
Silikon tabanlı yarı iletken filmlerin kızılötesi spectrometre ile analizi
- Tez No: 82520
- Danışmanlar: PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Film, Kızılötesi spektrometre, Yarı iletken filmler, FTIR, local vibration, amorphous film, anharmonic effect mTemmuz 1999, 125 sayfa. Çeşitli silisyum tabanlı hi droj enlenmiş amorf yarı iletken (n, p ve katkılanmış a-Si:H) ve diyelektrik(a-SiNx) filmler, tek bir plasma düzeneğinde büyütülmüştür. Bu amorf ince filmleri, Film, Infrared spectrometry, Semiconductor films
- Yıl: 1999
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Özet yok.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT ANALYSES OF SILICON BASED THIN FILMS BY FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY Bazkir, Ozcan M.S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu July 1999, 125 pages. Various silicon based hydrogenated amorphous semiconducting(n,p and intrin sic a-Si:H) and dielectric(a-SiNx:H) films have been deposited by using a single plasma system. In order to be able to efficiently analyze these amorphous thin solid films by Fourier Transform Infrared(FTIR) spectroscopy, the theory and techniques of the FTIR spectroscopy together with local vibration modes in solid materials, their temperature effect have been discussed. Furthermore heating cooling unit with its temperature control facility has been adapted for the FTIR spectrometer at hand; some signal processing softwares have been developed for the better FTIR analysis.
Benzer Tezler
- Determination of optical constants of silicon based amorphous films by UV- visible transmittance and reflectance measurement
Mor ötesi görünür bölge optik geçirme/yansıma ölçümleri ile silisyum tabanlı amorf filmlerin optik sabitlerinin belirlenmesi
BARIŞ AKAOĞLU
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Küre masif zengin cevherde baz, değerli, nadir metallerin dağılımları ve kazanılması
Distribution of base, rare and precious metals and their recovery in Küre massive ore
SEVİL YALÇIN
Yüksek Lisans
Türkçe
1995
Maden Mühendisliği ve Madencilikİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. SUNA ATAK
- Effects of illumination on hydrogenated amorphous silican based junctions
Hidrojenleşmiş amorf silisyum tabanlı eklemler üzerinde aydınlatmanın etkisi
HÜLYA ATMACAN
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. İSMAİL ATILGAN
- Tarihi eserlerde kullanılan CaSO4 harç ve sıvalarının incelenmesi
Investigation of historical CaSO4 mortars and plasters
ESRA Z. UZGİL
- Bor karbür oluşum koşullarının belirlenmesi ve toz karakterizasyonu
Determination of boron carbide formation reaction conditions and powder characterization
GÜLTEKİN GÖLLER