Determination of optical constants of silicon based amorphous films by UV- visible transmittance and reflectance measurement
Mor ötesi görünür bölge optik geçirme/yansıma ölçümleri ile silisyum tabanlı amorf filmlerin optik sabitlerinin belirlenmesi
- Tez No: 75931
- Danışmanlar: PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Geçirme, Yansıma, Kırılma Endisi, Soğrulma Katsayısı, Kalınlık Düzensizlikleri, Kırılma Endisi Düzensizlikleri iv, Kırılma indisi, Optik geçirgenlik, Silisyum nitrür, İnce filmler, Transmittance, Reflectance, Refractive Index, Absorption Coefficient, Thickness Irregularities, Refractive Index Irregularities iii, Refractive index, Optical permeability, Silicon nitride, Reflection, Thin films
- Yıl: 1998
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
oz MOR OTESI-GORUNUR BÖLGE OPTİK GEÇİRME/YANSIMA ÖLÇÜMLERİ İLE SİLİSYUM TABANLI AMORF FİLMLERİN OPTİK SABİTLERİNİN BELİRLENMESİ Akaoğlu, Barış Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu Ağustos 1997, 121 sayfa. Hem hidrojenlenmiş amorf silisyum (a-Si:H) hem de silisyum nitrür (a-SiA^rH) ince filmler kimyasal buhar biriktirme tekniği ile (PECVD) çeşitli tabanlar üzerine biriktirilmişlerdir. Bu filmlerin kırılma endisi, soğrulma katsayısı gibi optik sabit leri ile kalınlıkları, görünür bölge-mor ötesi spektrometre yardımıyla yansıma/geçirme spektrumları ölçülerek belirlenmiştir. Söz konusu filmlerin dikey ve yatay boyut ve kırılma endisi düzensizliklerini kavramak ve tartışmak için yansıma/geçirme ve soğurma katsayılarının ifadeleri Maxwell ve Shrödinger denklemlerinden yola çıkarak yeniden türetilip irdelenmişlerdir. Eldeki görünür bölge-mor ötesi çift demetli spektrometre bilgisayarlaştırılmıştır; arkasından da aygıtı işleten ve yukarıda sözü edilen kırılma endisi, soğurma katsayısı, kalınlık ve kalınlık düzensizlikleri gibi bazı parametreleri bilgisayar yardımıyla hesaplatan yazılım paketleri geliştirilmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT DETERMINATION OF OPTICAL CONSTANTS OF SILICON BASED AMORPHOUS FILMS BY UV- VISIBLE TRANSMITTANCE AND REFLECTANCE MEASUREMENTS Akaoğlu, Barış M.S., Department of Physics p ^ Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu August 1998, 121 pages. :>. t i -. r. --"? Both hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and silicon nitride (a-SüV^rl) thin jp ^ films have been deposited by using the same plasma enhanced chemical vapor deposition (PEVCD) system. The optical constants refractive index, absorption coefficient of these thin absorbing films have been determined within the UV- Visible region by measuring both reflectance (R) and transmittance (T) spectra. In order to be able to seize and discuss vertical and lateral dimensions and index irregularities of the films, the expressions of R, T and the absorption coefficient have been derived and analysed starting from the famous Maxwell and Shrödinger equations. The UV- Visible double beam spectrometer at hand has been fully computurized and the relevant softwares have been developed for both running operations and special calculations for reaching the mentioned optical constants such as spectral dependence of refractive index and absorption coefficient, film thickness and its lateral irregularities.
Benzer Tezler
- Düşük bir hızlarında konuşma kodlama ve uygulamaları
Low bit rate speech coding and applications
TARIK AŞKIN
Doktora
Türkçe
1999
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. GÜNSEL DURUSOY
- Polimerik membranlarda kimyasal ve makromoleküler yapının membranın oksijen ve iyonik geçirgenliğine etkileri
The Dependence of the anygen and ionic permeabilities of some polymeric membranes on their chemical and macromolecular structures
H. YILDIRIM ERBİL
- Bazı kobalt esaslı alaşımlarda mikroyapı ve faz analizi
Microstructure and phase analysis in some cobalt-base alloys
ALEV OSMA
- Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum filmlerin optik katsayılarını belirlemede kullanılan deneysel yöntemlerin karşılaştırılması
Comparison of experimental methods used for determination of optical constants of hydrogenated amorphous silicon
GÜNGÖR TAYYAR
- Determination of optical constants of thin film
İnce filmlerin optik sabitlerinin belirlenmesi
ALİ YILDIZ
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Fizik ve Fizik MühendisliğiBoğaziçi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NACİ İNCİ