Ellipsometric and UV-VIS transmittance analysis of amorphouse silicon carbide thin films
Amorf silisyum karbür ince filmlerin elipsometrik ve mor ötesi-görünür bölge optik geçirme analizi
- Tez No: 153680
- Danışmanlar: PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Amorf silisyum karbür, spektroskopi, Elipsometri, optik sabitler, düzensizlik, PECVD, Amorphous silicon carbide, spectroscopy, ellipsometry, optical constants, inhomogeneity. IV
- Yıl: 2004
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Öz AMORF SİLİSYUM KARBÜR İNCE FİLMLERİN ELİPSOMETRİK VE MOR ÖTESİ - GÖRÜNÜR BÖLGE OPTİK GEÇİRME ANALİZİ Gülses, Ali Alkan Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu Aralık 2004, 81 sayfa Elipsometrik ölçümlerin kuvvetli ve zayıf taraflarına dikkat çekmek için elipsometrinin temelleri gözden geçirildi. Yüzey koşullarının (temizlik derecesi, ince kir tabakası, pürüzlülük vb.) elipsometrik değişkenler üzerindeki etkileri deneysel olarak çalışıldı. Optimum prosedürler belirlendi. Hidroj enlenmiş amorf silisyum karbür (a-Siı.xCx:H) ince filmler, carbon içeriği ve RF gücü değişken alınarak, dairesel elektrodlu plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) tekniği ile üretilmiştir. Bu örnekler çok açılı elipsometre ve mor ötesi - görünür bölge dalgaboylu spektrometre kullanılarak incelendi. Ölçümlere göre, reaktör elektrodunun merkezinden kenara doğru, farklı güç ve karbon içerikli filmlerin, kalınlıklar, kırıcılık indisleri ve enerji aralıkları gibi optik sabitlerde düzensizlik gösterdiği saptandı.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT ELLIPSOMETRIC AND UV-VIS TRANSMITTANCE ANALYSIS OF AMORPHOUS SILICON CARBIDE THIN FILMS Guises, Ali Alkan M.S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu December 2004, 81 pages The fundamentals of the ellipsometry are reviewed in order to point out the strengths and weaknesses of the ellipsometric measurements. The effects of the surface conditions (such as degree of cleanliness, contaminated thin layer, roughness etc..) on the ellipsometric variables are experimentally studied; the optimum procedures have been determined. Hydrogenated amorphous silicon carbide (a-Sii_xCx:H) thin films are produced by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique with a circular reactor, in a way that RF power and carbon contents are taken as variables. These samples are analyzed using multiple angle of incidence ellipsometer and uv-vis spectrometer. These measurements have inhomogeneities in optical constants, such as thicknesses, refractive indices and optical energy gaps along the radial direction of the reactor electrode for different power and carbon contents.
Benzer Tezler
- Chemical and electrochemical polymerisation of substituted carbozoles in the presence of acrylamide
Sübstitüye karbozollerin akrilamid varlığında kimyasal ve elektrokimyasal polimerizasyonu
ÖZLEM YAVUZ
- Production of light emitting pin diodes based on the plasma deposited amorphous silicon carbide films
Plazma ile büyütülmüş amorf silisyum karbür film tabanlı ışık yayınlayan pin diyotların üretilmesi
KIVANÇ SEL
Yüksek Lisans
İngilizce
2002
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. İSMAİL ATILGAN
- CuO-Au film sisteminin optik özelliklerinin elipsometrik ve spektrofotometrik yöntemlerle incelenmesi
Investigation of optical properties of CuO-Au film system by ellipsometric and spectrophotometric methods
MÜBECCEL ÇAKIR
Yüksek Lisans
Türkçe
1990
Fizik ve Fizik MühendisliğiCumhuriyet ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NEVZAT KAVCAR
- Vakumda buharlaştırma yöntemiyle hazırlanan Cu ve Au yüzeyleri üzerindeki ısısal Cu2O ince filmlerinin optik özellikleri
Başlık çevirisi yok
HÜSEYİN DERİN
Doktora
Türkçe
1997
Fizik ve Fizik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. KAYHAN KANTARLI
- Kalın bir taşıyıcı üzerindeki soğurucu ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesi
Başlık çevirisi yok
AHMET YILMAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1992
Fizik ve Fizik MühendisliğiCumhuriyet ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NEVZAT KAVCAR