Vakumda buharlaştırma yöntemiyle hazırlanan Cu ve Au yüzeyleri üzerindeki ısısal Cu2O ince filmlerinin optik özellikleri
Başlık çevirisi mevcut değil.
- Tez No: 65780
- Danışmanlar: PROF.DR. KAYHAN KANTARLI
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: İnce filmler, optik özellikler, oksidasyon, elipsometri, Altın, Bakır, Thin films, optical properties, oxidation, ellipsometry, Gold, Copper
- Yıl: 1997
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Ege Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
IV ÖZET VAKUMDA BUHARLAŞTIRMA YÖNTEMİYLE HAZIRLANAN Cu ve Au YÜZEYLERİ ÜZERİNDEKİ ISISAL Cu20 İNCE FİLMLERİNİN OPTİK ÖZELLİKLERİ DERİN, Hüseyin Doktora Tezi, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Kayhan KANTARLI Eylül 1997, 128 sayfa Bu çalışmada vakumda buharlaştırma tekniği ve havada ısısal oksidasyon işlemiyle elde edilen Cu20/Cu ve Cu20/Au yapılarındaki Cu20 ince filmlerinin optik özellikleri elipsometrik ve spektrofotometrik yöntemlerle incelendi. Oksidasyon kinetiğinin incelenmesinden 80 - 125°C bölgesindeki oksit büyümesinin parabolik bir davranış gösterdiği bulundu. Cu yüzeyi üzerindeki ısısal oksit filmi büyümesinin hem elipsometrik parametreler ve hemde reflektans ölçümleriyle izlenebileceği gösterildi. 125°C de büyütülen Cu20 ince filrmerirıin görünür bölgedeki tam optiksel karakterizasyonu, farklı iki gelme açısında alman elipsometrik ölçümlerin analiziyle yapıldı. Optik sabitlerin film kalınlığı ile önemli bir değişim göstermediği bulundu. Cu20 'in absorpsiyon katsayısının spektral davranışından belirlenen yasak band genişliği değerinin literatürdeki değerlerle uyumlu olduğu gösterildi. Cu20/Cu ve Cu20/Au yapılan için elde edilen sonuçlar karşılaştırılarak, Cu - Cu20 arayüzeyindeki olası hacım difuzyonu ve pürüzlülüğün, elipsometrik yöntemle yapılan optiksel karakterizasyonu etkilemediği gösterildi.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT OPTICAL PROPERTIES OF THIN THERMAL Cu20 FILMS ON VACUUM EVAPORATED Cu AND Au SURFACES DERİN, Hüseyin Thesis of Ph. D. in Science Supervisor : Prof. Dr. Kayhan KANTARLI September 1997, 128 pages In this work, the optical properties of thin Cu20 films in the Cu20/Cu and Cu20/Au structures obtained by the vacuum evaporation technique followed by the thermal oxidation in air, have been investigated using the ellipsometric and spectrophotometric methods. From the investigation of oxidation kinetics, it was found that the oxide growth in the range of 80 - 125°C exhibits a parabolic behaviour. It was shown that the growth of the thermal oxide film on Cu surface can be observed by means of both the ellipsometric parameters and the reflectance measurements. Exact optical characterization in the visible range of the thin Cu20 films grown at 125°C were carried out through the analysis of the ellipsometric measurements taken at two different angle of incidences. It was found that the optical constants do not show an important change with the thickness of the films. The forbidden band gap, determined from the spectral behaviour of the absorption coefficient of Cu20, is consistent with the values reported in the literature. By comparing the results obtained for the Cu20/Cu and Cu20/Au structures, it was shown that the possible volume diffusion and roughness in the Cu - Cu20 interface do not affect the optical characterization, performed by the ellipsometric method.
Benzer Tezler
- Vakumda buharlaştırma yöntemiyle hazırlanan alüminyum ince filmlerin optik özellikleri
Başlık çevirisi yok
HÜSEYİN DERİN
Yüksek Lisans
Türkçe
1991
Fizik ve Fizik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. KAYHAN KANTARLI
- PbTe filmlerin elektriksel özelliklerinin hazırlama koşullarına bağlılığı
Başlık çevirisi yok
ALİ RIZA ÇİLOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
1987
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. NECDET BAŞTÜRK
- Altın filmlerin görünür ışık bölgesindeki optik özelliklerinin elipsometrik yöntemle incelenmesi
Başlık çevirisi yok
NEŞE ELGÜN
Yüksek Lisans
Türkçe
1988
Fizik ve Fizik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. KAYHAN KANTARLI
- CulnSe2-GaAs eklemlerin elektriksel özellikleri
Electrical properties of CulnSe2-GaAs junctions
BANU SÜNGÜ
Yüksek Lisans
Türkçe
2000
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TAYYAR CAFEROV
- CuO-Au film sisteminin optik özelliklerinin elipsometrik ve spektrofotometrik yöntemlerle incelenmesi
Investigation of optical properties of CuO-Au film system by ellipsometric and spectrophotometric methods
MÜBECCEL ÇAKIR
Yüksek Lisans
Türkçe
1990
Fizik ve Fizik MühendisliğiCumhuriyet ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NEVZAT KAVCAR