İnce filmlerin optik özelliklerinin elipsometrik yöntemle tayini
Determination of optical properties of thin films by ellipsometry method
- Tez No: 96264
- Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. HALUK ŞAFAK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Elipsometri, İnce film, Jones hesaplaması, Selenyum m, Film, Selenyum, İnce filmler, Ellipsometry, Thin Films, Jones Calculation, Selenium IV, Film, Selenium
- Yıl: 2000
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Selçuk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
ÖZET Yüksek Lisans Tezi İNCE FİLMLERİN OPTİK ÖZELLİKLERİNİN ELİPSOMETRİK YÖNTEMLE TAYİNİ Gültekin ÇELİK Selçuk Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Anabilim Dalı Danışman: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Sayfa Jüri: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK Yrd. Doç. Dr. Ö.Famk YÜKSEL Yrd. Doç. Dr. Mehmet TAŞER Bu çalışmada, ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesinde yaygın şekilde kullanılan spektroskopik elipsometre tekniği incelenmiştir. Mevcut imkanlar çerçevesinde bahsedilen deneysel düzenek tasarlanmış ve kurulmuştur. Bir monokromatör kullanılarak, görünür bölgedeki değişik dalgaboylan ve gelme açılan için ölçümler yapılmış, bulunan deneysel parametreler bilgisayar ortamında değerlendirilerek ince film selenyum yapının kırılma indisi ve sönüm katsayısı belirlenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT McS. Thesis DETERMINATION of OPTICAL PROPERTIES of THTN FILMS by ELLIPSOMETRY METHOD Gffltekin ÇELİK Selçuk University Graduate School of Natural and Applied Sciences Department of Physics Supervisor: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Pages Jury: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK Ass. Prof. Dr. Ö. Faruk YÜKSEL Ass. Prof. Dr. Mehmet TAŞER In this study, a spectroscopic ellipsometry setup used widely in determining the optical properties of thin films was designed and realised. By means of this setup, optical constants of Se thin films deposited onto a glass substrate were determined. The measurements were performed for different wavelengths in visible range and for various incidence angles by using a monochromator. The experimental data obtained were evaluated in a computer and the refractive index and extinction coefficient of Se thin film were calculated.
Benzer Tezler
- Kalın bir taşıyıcı üzerindeki soğurucu ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesi
Başlık çevirisi yok
AHMET YILMAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1992
Fizik ve Fizik MühendisliğiCumhuriyet ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NEVZAT KAVCAR
- Vakumda buharlaştırma yöntemiyle hazırlanan alüminyum ince filmlerin optik özellikleri
Başlık çevirisi yok
HÜSEYİN DERİN
Yüksek Lisans
Türkçe
1991
Fizik ve Fizik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. KAYHAN KANTARLI
- CeO2-TiO2(CeO2-ZrO2) ince filmlerinin oluşturulması, optik yapısal ve bazı elektrokimyasal özelliklerinin incelenmesi
Preparation and investigation of optical, structural and some electrochemical properties of CeO2-TiO2(CeO2-ZrO2) thin films
FARHAD E GHODSİ
- Determination of thermal optical properties of TiO2 and ZrO2 films and their fiber optic temperature sensor application
TiO2 ve ZrO2 filmlerin termal optik özelliklerinin belirlenmesi ve bunların fiber optik ısı algılayıcısı uygulamaları
GÜLTEKİN GÜLŞEN
Doktora
İngilizce
1999
Fizik ve Fizik MühendisliğiBoğaziçi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. M. NACİ İNCİ
- Ba Ti O3, Sr Ti O3 ince filmlerin optiksel ve yapısal özellikleri
Başlık çevirisi yok
UĞUR KÜÇÜK
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. FATMA TEPEHAN