Silicon oxynitride layers for applications in optical waveguides
Optik dalga kılavuzları uygulamaları için silisyum oksinitrat tabakalar
- Tez No: 96223
- Danışmanlar: PROF. ATİLLA AYDINLI
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: PECVD, Silisyum oksinitrat, FTIR, ATR, Dalga kılavuzu, Optical kayıp, Tavlama, Tek kip şartı, Prisma çiftlemesi. iv, Dalga kılavuzları, PECVD, Silicon oxynitride, FTIR, ATR, Waveguide, Optical absorption, Single mode, Prism coupling, Annealing. u, Waveguides
- Yıl: 2000
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Silisyum oksinitrat tabakalar, 1.55 fim optik dalgaboyunda çalışan dalga kılavuzlarının çekirdek kısmını oluşturması amaçlanarak, SİH4, N2O, ve NH3 gazları kullanılarak PECVD tekniği ile büyütüldü. Tabakalar 350 °Ode N20 ve NH3 gazlarının akış oranları değiştirilerek elde edildi. Büyütülen tabakaların kırılma indisleri 1.46 ile 2.00 arasında değiştirilebilmektedir. Büyütülen tabakalar FTIR ve ATR yöntemleri ile incelendi. 3500 cm-1 deki N-H salınımmın overtonunun 1.55 fim de soğurmaya neden olduğu bilindiğinden bu bant ayrıntılı incelendi. Isıl tavlamanın tabakaların yapı özelliklerine etkileri araştırıldı. FTIR ve ATR yöntemleri ile tavlama sonucu N-H salınımmın tamamen ortadan kaldırıldığı gösterildi. Silisyum oksinitrata dayalı düzlemsel dalga kılavuzları üretildi ve optik soğurum N-H bağ sayısıyla ilişkilendirildi. Ayrıca, SiON'a dayalı tek kipli dalga kılavuzları da üretilerek bunlardaki giriş kaybı ile optik kayıp ölçüldü. Sonuç olarak düşük kayıplı dalga kılavuzları üretildi. 111
Özet (Çeviri)
Silicon oxynitride layers, aimed to serve as the core material for optical waveguides operating at 1.55/mi, were grown by a PECVD technique using SİH4, N20, and NH3 as precursor gases. The films were deposited at 350 °C, 13.56 MHz RF frequency, and 1 Torr pressure by varying the flow rates of N2O and NH3 gases. The resulting refractive indices of the layers varied between 1.47 and 2.0. The compositional properties of the layers were analyzed by FTIR and ATR infrared spectroscopy techniques. A special attention was given to the N-H bond stretching absorption at 3300-3400 cm-1, since its first overtone is known to be the main cause of the optical absorption at 1.55//m. An annealing study was performed in order to reduce or eliminate this bonding type. For the annealed samples the corresponding concentration was strongly reduced as verified by FTIR transmittance and ATR methods. A correlation between the N-H concentration and absorption loss was verified for silicon oxynitride slab waveguides. Moreover, a single mode waveguide with silicon oxynitride core layer was fabricated. Its absorption and insertion loss values were determined by butt-coupling method, resulting in low loss waveguides.
Benzer Tezler
- Solid-gas reactions of silicon with Y2O3 and nitrogen
Si ve Y2O3' in azotla katı-gaz reaksiyonları
ALİ YÖNDEN
Yüksek Lisans
İngilizce
1993
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MERAL KIZILYALLI
- Pressureless sintering of single B-and (?-B) sialons with the aid of oxynitride glasses
B-sialon ve (?-B)-sialon seramiklerinin oksinitrür katkıları ile basınçsız sinterleme örnekleri
İLKSEN HİLAL YILDIR
Yüksek Lisans
İngilizce
1996
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUHARREM TİMUÇİN
- Lanthanum silicon oxynitrides synthesis, X-ray diffraction and IR studies
Başlık çevirisi yok
GÜLLER GÜRBÜZ
Yüksek Lisans
İngilizce
1990
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MERAL KIZILYALLI
- Silisyum dioksit depozisyon sistemi
Silicon dioxide deposition system
BARBAROS ŞEKERKIRAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1992
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF. DR. DURAN LEBLEBİCİ
- Depresyonda tedaviye yanıtın klinik belirteçleri
Clinical predictors of treatment response in depression
SERDAR BULUT