NOVEL INTEGRATED OPTICAL DEVICES BASED ON ALD AL2O3
ALD AL2O3'YE DAYALI YENILIKÇI ENTEGRE OPTIK AYGITLAR
- Tez No: 916387
- Danışmanlar: PROF. DR. FERİDUN AY
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Bilim ve Teknoloji, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Science and Technology, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2025
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Eskişehir Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Elektronik Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Jiroskoplar, dış sinyallere ihtiyaç duymadan bir nesnenin atalet çerçevesine göre döner hareketini ölçen önemli sensörlerdir ve bu nedenle tüketici elektroniğinden havacılık ve savunma sanayisine kadar modern teknolojide çok önemli bir role sahiptirler. 20. yüzyılın başlarında keşfedilen Sagnac etkisi, dönme hareketini ölçmek için ışığın kullanılmasını mümkün kılmış ve bu da Halka Lazer Jiroskopları (RLG'ler) ve Enterferometrik-Fiber Optik Jiroskoplar (I-FOG'ler) gibi optik jiroskopların gelişmesine yol açmıştır; bu cihazlar kritik uygulamalarda baskın hale gelmiştir. Optik jiroskopların entegrasyonu ve miniaturizasyonu aktif bir araştırma alanıdır. Bu tez, duyarlılığı artırırken aynı zamanda okuma devrelerini basitleştiren optik rezonansı kullanan yeni bir entegre optik jiroskop konfigürasyonu sunmaktadır. Bu konfigürasyon, ana optik malzemesi Atomik Tabaka Biriktirme (ALD) ile kaplanmış amorf alüminyum oksit (Al2O3) olan entegre bir optik halka rezonatörü kullanır. Bu malzeme seçimi, araştırma grubumuzun (MIDAS grubu) bu malzemenin biriktirme, katkılama ve aşındırma süreçlerindeki geniş uzmanlığı ile desteklenmektedir. Önerilen konfigürasyon, entegre optiklerle gerçekleştirilmek için en uygun olsa da, aynı zamanda yığın optiklerle de gerçekleştirilebilir. Belki de Rezonant-Fiber Optik Jiroskop (R-FOG), bu tür bir konfigürasyondan en büyük faydayı sağlayacaktır. Kullanılan optik malzemeler, böyle bir konfigürasyonun uygulanmasını sınırlayan bir faktör değildir. Teorik analizler, simülasyonlar ve sistem düzeyinde algılama stratejileri aracılığıyla bu araştırma, kompakt, hassas ve maliyet-etkin optik jiroskopların geliştirilmesini ilerletmeyi amaçlamaktadır; bu da, performans açısından MEMS tabanlı jiroskopları aşabilecek kompakt optik jiroskopların ticarileştirilmesine yol açabilir.
Özet (Çeviri)
Gyroscopes are vital sensors that measure the rotational movement of an object relative to an inertial frame without external signals, making them crucial in modern technology, from consumer electronics to aerospace and defense. The discovery of the Sagnac effect in the early 20th century enabled the use of light to measure rotation, leading to the development of optical gyroscopes such as Ring Laser Gyroscopes (RLGs) and Interferometric-Fiber Optic Gyroscopes (I-FOGs), which are dominant in high-end applications. Integration and miniaturization of optical gyroscopes is an active research area. This thesis presents a novel integrated optical gyroscope configuration that exploits optical resonance for enhancing sensitivity while simultaneously simplifying the readout circuitry. The configuration employs an integrated optical ring resonator whose core optical material is amorphous aluminum oxide (Al2O3), deposited via Atomic Layer Deposition (ALD). This material choice is supported by our group's (MIDAS group) extensive expertise in its deposition, doping and etching processes. Although the proposed configuration is most suitable to be realized through integrated optics, it can also be realized with bulk optics. Perhaps the Resonant-Fiber Optic Gyroscope (R-FOG) would be the main beneficiary from adopting such a configuration. The optical materials used are also not a limiting factor for employing such a configuration. Through theoretical analysis, simulations, and system-level detection strategies, this research aims to advance the development of compact, sensitive, and cost-effective optical gyroscopes, paving the way for the commercialization of compact optical gyroscopes that can surpass MEMS-based gyros in terms of performance.
Benzer Tezler
- Atomic layer deposition of III-nitrides and metal oxides; their application in area selective ALD
III-nitratların ve metal oksitlerin atomik katman kaplamısı; bunların alan seçici ALD`deki uygulamaları
ALI HAIDER
Doktora
İngilizce
2017
Bilim ve Teknolojiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
Assist. Prof. AYKUTLU DANA
DR. NECMİ BIYIKLI
- Ebubekir Hazım Tepeyran'ın hikayeleri ve romanları
Başlık çevirisi yok
SERPİL HAYBER
Yüksek Lisans
Türkçe
1986
Türk Dili ve EdebiyatıGazi ÜniversitesiTürk Dili ve Edebiyatı Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. BİLGE ERCİLASUN
- Le Non-naturalisme dans la Faute de I'Abbe Mouret d'Emile Zola
Başlık çevirisi yok
GÜRBÜZ SEZGİN
Yüksek Lisans
Fransızca
1986
Fransız Dili ve EdebiyatıCumhuriyet ÜniversitesiBatı Dilleri ve Edebiyatları Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TUNA ERTEM
- Yakup Kadri'nin romanlarında Anadolu
Başlık çevirisi yok
ABDÜLKADİR HAYBER
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Türk Dili ve EdebiyatıGazi ÜniversitesiTürk Dili ve Edebiyatı Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BİLGE ERCİLASUN
- Structures discursives dans“la grande peur dans la montagne”de Charles-Ferdinand Ramuz
Başlık çevirisi yok
NİLGÜN SÖKMEN
Yüksek Lisans
Fransızca
1985
Fransız Dili ve EdebiyatıCumhuriyet ÜniversitesiBatı Dilleri ve Edebiyatları Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TUNA ERTEM