Mikrodalga plazma kimyasal buhar biriktirme sistemi ile tek kristalelmas büyütülmesi
Single crystal diamond growth with microwave plasma chemical vapour deposition system
- Tez No: 879626
- Danışmanlar: PROF. DR. EMRE BİÇER, DR. ZEYNEP BAZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Kimya Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Metallurgical Engineering, Chemical Engineering, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: CVD, CVD
- Yıl: 2024
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Sivas Bilim ve Teknoloji Üniversitesi
- Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Savunma Teknolojileri Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada homoepitaksiyel olarak kalın elmas filmlerinin mikrodalga kimyasal buhar biriktirme sistemiyle büyütülmesi amaçlanıldı. Farklı üretim yöntemleriyle üretilen Seed A ve Seed B alttaşlarının büyütmeye olan etkisi incelendi. Seed A alttaşı yarıiletken üretimiyle benzerlik gösteren, iyon implantasyonu ve yarı iletken üretiminde kullanılan ''lift off'' yöntemini kullanarak üretilmiş olup, elmas filmleri Seed A alttaşı kullanılarak daha yüksek kalitede üretildi ve diğer çalışmalarda Seed A tercih edildi. Tüm büyütmelerde yöntem olarak literatürde kullanılan ''mosaic growth'' yöntemi kullanıldı Ayrıca farklı CH4/H2 oranları kullanılarak elmas filmleri, sabit sıcaklık, basınç 135 Torr ve mikrodalga gücü 5700W olacak şekilde 400 saatlik büyütmeler yapıldı. Bu büyütmeler sonucunda elmas büyütme hızına akış oranı etkisi araştırıldı. Renk kalitesi açısından en uygun büyütme oranı %6 CH4/H2 oranı kullanılarak elde edildi. En hızlı büyütme oranı ise %10 CH4/H2 elde edilmesine rağmen, kristal yüzeyinde oldukça fazla polikristal elmas büyümesi gözlemlendi. Ek olarak bu çalışmada literatürde ilk kez molibden yüzeyi fiziksel buhar biriktirme (PVD) yöntemiyle AlTiN ve TiN kaplanarak elmas alttaşlar büyütüldü.
Özet (Çeviri)
In this study, the aim was to grow thick diamond films homoepitaxially using the microwave chemical vapor deposition system. The effect of different production methods on Seed A and Seed B substrates on the growth process was examined. Seed A substrates are produced using techniques akin to semiconductor production, involving ion implantation and the“lift-off”method. Diamond films grown using Seed A substrates exhibited higher quality, leading to a preference for Seed A in subsequent studies. The“mosaic growth”method, commonly used in the literature, was employed for all growth processes. Additionally, diamond films were grown using different CH4/H2 ratios, under constant conditions of temperature, pressure at 135 Torr, and microwave power at 5700W, for a duration of 400 hours. The impact of flow rate on the growth rate of diamonds was investigated as a result of these growth processes. The most suitable growth ratio in terms of color quality was achieved using a 6% CH4/H2 ratio. Although the fastest growth rate was attained with a 10% CH4/H2 ratio, a significant amount of polycrystalline diamond growth was observed on the crystal surface. Furthermore, for the first time in the literature, diamond substrates were grown by coating the molybdenum surface with AlTiN and TiN using the physical vapor deposition (PVD) method.
Benzer Tezler
- Synthesıs and graphene encapsulatıon of fe-based bınary metallıc nanopartıcles
Fe-bazlı ikili metalik nanopartiküllerin sentezi ve grafen ile enkapsülasyonu
SEYFULLAH CEYLAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2025
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. DUYGU AĞAOĞULLARI
- Investigation of novel memristor-memtransistor devices for potential neuromorphic computing applications via alternative synthesis routes
Alternatif sentez yöntemleriyle potansiyel nöromorfik hesaplama uygulamaları için yeni nesil memristör memtransistör cihazlarının araştırılması
MUSTAFA YİĞİT ESEN
Yüksek Lisans
İngilizce
2025
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiEskişehir Teknik ÜniversitesiElektromanyetik Alanlar ve Mikrodalga Tekniği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FERİDUN AY
- Developing transparent polycrystalline zinc selenide (ZnSe) pellets for laser applications
Lazer uygulamaları için şeffaf polikristal formunda çinko selenit (ZnSe) peletlerin geliştirilmesi
SEFA ÖZTULUM
Yüksek Lisans
İngilizce
2022
Mühendislik BilimleriKoç ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ UMUT AYDEMİR
- Microcavity coupled interlayer excitons in MoSe2-WSe2 heterostructures
Mikrokavite içerisinde entegre MoSe2-WSe2 heteroyapılarında katmanlar arası eksitonlar
ŞEYMA ESRA ATALAY
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
DR. ÖĞR. ÜYESİ İBRAHİM SARPKAYA
- Ergene–Meriç nehirleri ve baraj suyu ile sulanan çeltik alanlarındaki su, sediment ve pirinçteki bazı metal kalıntılarının spektroskopik yöntemlerle araştırılması
Investigation with spectroscopic methods of heavy metals pollution in the paddy fields irrigated with Ergene-Meric rivers and dam water
BARIŞ CAN KÖRÜKÇÜ
