A New signal detection method for capacitive micromachined ultrasonic transducers
Kapasitif mikro-işlenmiş ultrasonik çeviriciler için yeni bir sinyal algılama metodu
- Tez No: 83722
- Danışmanlar: PROF. DR. ABDULLAH ATALAR
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: kapasitif mikro-işlenmiş ultrasonik çeviriciler, ultrasonik sinyal algılama, bükülme algılama, Mikroişlemciler, Ultrasonik dönüştürücü, İşaret tespiti, capacitive micromachined ultrasonic transducers, ultrasonic signal detection, displacement sensing, Microprocessors, Ultrasonic transducers, Signal detection
- Yıl: 1999
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
ÖZET KAPASITIF MIKRO-IŞLENMIŞ ULTRASONIK ÇEVİRİLER İÇİN YENİ BİR SİNYAL ALGILAMA METODU Arif Sanlı Ergun Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Doktora Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Abdullah Atalar 27 Nisan 1999 Geçtiğimiz bir kaç sene içerisinde kapasitif ultrasonik mikro-işlenmiş çeviriciler (kUMÇ) piezoelektrik çeviricilere alternatif olmaya başladilar. kUMÇ'lar çok sayıda küçük daire sel zarların paralel şekilde bir araya getirilmesiyle oluşturulmaktadır. Bu tezde kUMÇ'lar için yeni bir sinyal algılama yöntemi gösterilmektedir. Bu yöntemde zarlar kondansatör, zarlar arasındaki bağlantılar ise indüktör olarak modellenmektedir. Ortaya çıkan devre yapay bir iletim hattı olup belli bir elektriksel uzunluğu vardır. Zarların titremesi du rumunda yapay iletim hattının elektriksel uzunluğu değişir, ve değişim miktarı hattan geçirilen sinyal frekansı ile doğru orantılıdır. Yüksek bir RF frekansı kullanılarak (GHz seviyelerinde) yapay iletim hattının elektriksel uzunluğu ölçüldüğünde zarlardaki titreşim oldukça hassas bir şekilde algılanabilmektedir. Tipik olarak, bu yeni yolla yapılan ölçümlerde geleneksel yollarla yapılan ölçümlerden yüz kat daha fazla hassasiyet elde edilebilmektedir. Denediğimiz çeviricilerde ölçülebilen en düşük bükülme 10-7 Â/\/Hz seviyelerinde gözlenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT A NEW SIGNAL DETECTION METHOD FOR CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS Arif Sanlı Ergun Ph. D. in Electrical and Electronics Engineering Supervisor: Prof. Abdullah Atalar April 27, 1999 Capacitive micromachined ultrasonic transducers (cMUT) have become an alternative to piezoelectric transducers in the past few years. They are constructed by integrat ing many small circular membranes in parallel. In this thesis, we demonstrate a new signal detection method for cMUT's. We model the membranes as capacitors, and the interconnection lines between the membranes as inductors. The resulting circuit is an artificial transmission line with a certain electrical length. The vibrations of the mem branes modulate the electrical length of the transmission line, which is proportional to the frequency of the signal through it. By measuring the electrical length of the artificial transmission line using a high RF frequency (in the GHz range), the vibrations of the membranes can be detected in a very sensitive manner. Typically, the improvement over the conventional method is two orders of magnitude. For the devices we measured we observed a minimum detectable displacement in the order of 10-7 Â/VSz-
Benzer Tezler
- Bilgisayar destekli kalite kontrol sistemleri
Computer aided quality control systems
ÖZGEN TURASI
Yüksek Lisans
Türkçe
1995
Endüstri ve Endüstri Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. MURAT DİNÇMEN
- Perdelerle güçlendirilmiş yapıların bazı özellikleri ve kolon-kiriş birleşim bölgelerinin deneysel olarak incelenmesi
Some features of strenthening by shear walls and energy absorbtion capa city of the vicinity of beam-column collections
HASAN ANAÇ
- Noise analysis of interdigital cantilevers for atomic force microscopy
Atomik kuvvet mikroskobu için birbirine geçmiş parmaklı kaldıraçların gürültü çözümlemesi
GÖKSEN GÖKSENİN YARALIOĞLU
Doktora
İngilizce
1998
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiElektrik ve Bilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ABDULLAH ATALAR
- Mikrodalga difraksiyon tomografisi için yeni bir paralel işleme algoritması
A New parallel processing algorithm for microwave diffraction tomography
MESUT KARTAL
Yüksek Lisans
Türkçe
1993
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. BİNGÖL YAZGAN
- A Rhythm analysis method for exercise elektrocardiograms
Eforlu elektrokardiogram için bir ritim analiz metodu
BAYRAM KEREM ÇAĞLAR
Yüksek Lisans
İngilizce
1996
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiPROF.DR. HAYRETTİN KÖYMEN