Preparation and characterization of ferroelectric Pb (Zr,Ti) O3 films
Ferroelektrik Pb (Zr,Ti) O3 filmlerin hazırlanması karakterizasyonu
- Tez No: 68654
- Danışmanlar: PROF. DR. MACİT ÖZENBAŞ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: PZT, ferroelektrik filmler, sol-jel yöntemi. vı, Ferroelektrik, Film, Sol-jel yöntemi, PZT, Ferroelectric films, Sol-gel processing IV, Ferroelectrics, Film, Sol-gel method
- Yıl: 1997
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
oz FERROELEKTRIK Pb(Zr,Ti)03 FİLMLERİN HAZIRLANMASI VE KARAKTERİZASYONU Ergin, S. Ümit Yüksek Lisans, Malzeme ve Metalürji Mühendisliği Bölümü Tez Yöneticisi : Prof. Dr. Macit Özenbaş Ortak Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Tank Ö. Oğurtanı Ocak 1997, 81 sayfa Bu çalışmada ferroelektrik özellikli Pb(Zr, Ti)03 filmler ve tozlar sol-jel yöntemi kullanılarak elde edilmiştir. Tozlar sulu çözeltiden homojen çökeltme, filmler ise çökelme öncesi daldırma yöntemi kullanılarak üreli ortamda hazırlanmışlardır. Altlık malzemesi olarak platin kaplanmış Si-(lll) dilimleri, Si dilimleri ve a-Al203 kullanılmıştır. Filmlerin ve tozların karakterizasyon işlemleri için öncelikle XRD ve SEM/EDS kullanılmıştır. Parça boyutu, morfolojisi ve film yüzeyleri SEM çalışmaları ile gözlemlenmiş, film ve toz bileşimleri EDS analizleri alınarak araştırılmıştır. Isıl işlem esnasında bir kaç kez XRD analizleri alınarak oluşan fazlar belirlenmiştir. Toz örneklerin içerdiği safsızlıkların belirlenebilmesi amacı ile spektroskopik İR analizleri yapılmıştır. 850°C'de, 5 saat boyunca ısıl işleme tabi tutulmuş bütün tozlar ve filmlerinperovskit faza geçerek tamamen kristalize olduğu ve stoykiyometrik olduğu belirlenmiştir. 350°-650°C ısıl işlem sıcaklıkları arasında perovskit, piroklor, ve kurşun titanyum ve 650-850°C arasında perovskit ve piroklor fazlar gözlemlenmiştir. Hazırlanan PZT tozların küçük, düzgün ve homojen dağılımlı parça yapısında olduğu, ancak filmlerin bileşimlerinin yer yer homojen olmadığı belirlenmiştir. Platin kaplanmış silisyum ve alumina numuneler üzerindeki ıslanmanın, platin kaplanmamış silisyum üzerindekine göre daha fazla olduğu gözlemlenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF FERROELECTRIC Pb(Zr,Ti)03 FILMS Ergin, S. Ümit M.S., Department of Metallurgical and Materials Engineering Supervisor: Prof. Dr. Macit Özenbaş Co-Supervisor: Prof. Dr. Tank Ö. Oğurtanı January 1997, 81 pages In this study, ferroelectric Pb(Zr,Ti)03 films and powders were prepared from metal chlorides using sol-gel processing method. For powders; homogeneous precipitation from aqueous solution and for films; dip coating just before precipitation was applied in the presence of urea, [(NBfe^CO]. Pt-coated Si (111) wafers, Si wafers and a-Al203 were employed as substrates all through this study. Sol-gel processing method was used throughout the study, because it is a reliable, compositionally adjustable and inexpensive method for the production of ferroelectric films. Characterization of the films and powders were carried out primarily by XRD and SEM/EDX. The particle size and morphology, and film surfaces were observed during SEM studies, while compositions of the films and powders were investigated by EDX analyses. Phases formed upon annealing were determined by 111XRD of the samples at several stages of annealing. In order to accurately determine the impurities remained in the powder samples, IR spectroscopic analyses were carried out. Both the films and powders were stoichiometric and completely crystallized into perovskite phase after annealing for 5 hours at 850°C. For annealing temperatures between 350 and 650°C, perovskite, pyrochlore, lead titanate, and for those between 650 and 850°C, pyrochlore and perovskite phases were observed. The PZT powders had homogeneously distributed, fine particle sizes and morphology; however, the films prepared were partly deviated from compositional homogeneity. The films have better wetting characteristics on alumina and Pt-coated Si substrates than that on bare silicon substrates.
Benzer Tezler
- ZrO2-TiO2 ince filmlerinin oluşturulması ve karakterizasyonu
Preparation and characterization of ZrO2-TiO2 thin films
SEMA TIĞLI
- Preparation and characterization of ultra high molecular weight polyethylene and polyisoprene solvent cast blend films
Çok yüksek molekül ağırlıklı polietilen ve poliizopren çözelti karışımlarından elde edilen filmlerin özellikleri
ALİ ERKAN AKINAY
- Preparation and characterization of polymeric blends of poly(E-caprolactone)and poly(P-chlorostyrene)
Başlık çevirisi yok
HASAN HÜSEYİN ENGİN
- Preparation and characterization of silicon thin films
Silisyum ince filmlerinin hazırlanması ve karakterizasyonu
İSMAİL ATILGAN
Doktora
İngilizce
1993
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- İlaç taşıyıcı poli (D,L-laktat) (PDLLA) mikrokürelerin hazırlanması ve karakterizasyonu
Preparation and characterization of drug loaded poly (D,L-lactide) (PDLLA) microspheres
EMİR BAKİ DENKBAŞ
Doktora
Türkçe
1994
BiyomühendislikHacettepe ÜniversitesiBiyomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERHAN PİŞKİN