Metal ve yarıiletken numunelerin AEX; XPS ve SEM ile incelenmesi
AEX, XPS and SEM studies of metal and semiconductor samples
- Tez No: 67437
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. M. CELALETTİN BAYKUL
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Spektroskopi, Yarı iletkenler, Spectroscopy, Semiconductors
- Yıl: 1997
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
ÖZET Yarıiletkenler, elektronik sanayinde, güneş pilleri ve dedektör yapımında ve benzeri birçok alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu malzemelerin araştırılması için yarıiletken ince filmlerin üretiminde kullanılan teknikler, Vakum buharlaştırma, Spray Pyrolysis, Kimyasal buhar biriktirme, ve sputtering yöntemleri sayılabilir. Bu çalışmada, bu yöntemlerden en ucuz ve pratik olan Spray pyrolysis yöntemi ile elde edilen Cdo.8Zno.2S ve Cdı.xInxS filmlerinin özellikleri yüzey analiz teknikleriyle incelendi. Spray pyrolysis yöntemi ile elde edilen bir Cd0.sZn0.2S yarıiletken filmi, 350 °C de tutulan pyrex cam üzerine oluşturuldu. Bu filmin kimyasal analizi AES (Auger Electron Spectroscopy) ile incelendi. Numunenin derinlik profili ise XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) ile elde edildi. Numune yüzeyinin görüntüleri XP ve SEM (Scanning Electron Microscopy) kullanılarak elde edildi. Farklı indiyum konsantrasyonlarında ve 310 °C taban sıcaklığında, spray pyrolysis yöntemi ile oluşturulan Cdi-xInxS (0<x<l) yarıiletken filimlerinin yüzey topografik görüntüleri SEM ile elde edilmiştir, indiyum konsantrasyonu x=0.4 için numunenin daha homojen bir yapıya sahip olduğu belirlenmiştir. Ayrıca EDX ile mikroanalizi yapılmış ve bu sonuçlarla beklenen değerler arasında uyum olduğu saptanmıştır. Ayrıca metal malzemelerden Mo ve Au tiplerinin yüzey analizleri elde edilmiştir. Elektrokimyasal dağlama yöntemi kullanılarak 0.1 mm çapında Molibden (Mo), 0.25 mm çapında Altın (%97.05 Au-%2.95 Cu) ve 0.5 mm çapındaki Au (%97.28 Au- %2.72 Cu) tellerinden STM tipleri yapıldı. Mo tipleri 2 M NaOH çözeltisi ve %33'lük HC1 çözeltisi ile ayrı ayrı elde edildi. Au tipleri ise 0.8 M KCN çözeltisi ile elde edildi. Bu çalışmada Mo ve Au tiplerinin SEM görüntüleri ve EDX mikroanaliz sonuçları incelenmiştir.
Özet (Çeviri)
IV SUMMARY Semiconductors have been used widely in electronics industry and the production of the solar cells and the dedector and similar areas. In order to investigate those materials, techniques to produce semiconductor thin films are vacuum evaporation, spray pyrolysis, chemical vapour deposition and sputtering methods. In that study, the properties of Cd0.gZn0.2S and Cdi.xInxS films which were produced by spray pyrolysis method, cheapest and practical one of those methods, were investigated by using surface analysis techniques. Cdo.8Zno.2S thin film was grown by Spray Pyrolysis method onto pyrex slide at substrate temperature of 350 °C. The chemical analysis of that film was obtained by AES (Auger Electron Spectroscopy). XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) was used to obtain the depth profiling of that sample. Surface topographic images were provided by XP and SEM (Scanning Electron Spectroscopy). Semiconductor thin films of Cdi-xInxS (0<x<l) were grown by spray pyrolysis method at different concentrations of indium and 310°C substrate temperature. SEM micrographs were obtained by SEM. When indium concentration was at x=0.4, it has been determined that the sample had a homogeneous structure. In addition to that, X-ray microanalysis was taken by EDX. There was a good agreement between expected values and those results. However, the surface of the metal tips. Mo and Au, have been investigated. STM tips were obtained from Molybdenum (Mo) wire whose diameter was 0.1 mm, a gold (Au) wire (97.05% Au-2.95% Cu) with a diameter of 0.25 mm and another gold wire (97.28% Au-2.72% Cu) whose diameter was 0.5 mm, by using electrochemical method. In order to produce STM tips from Molybdenum wires, 2 M NaOH and 33% HC1 solutions were examined, seperately. Au tips were produced with 0.8 M KCN solution. In that study, in SEM images and microanalysis of STM tips were investigated.
Benzer Tezler
- Bazı amin-metal komplekslerinin elektriksel özelliklerinin incelenmesi
The Investigation of electrical properties of some amine-metal complexes
FAHRETTİN YAKUPHANOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Fizik ve Fizik MühendisliğiFırat ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. YILDIRIM AYDOĞDU
- CrNiCo/MBE n-GaAs schottky diyotlarında termal tavlamanın ve numune sıcaklığının elektriksel karakteristiklere etkileri
Effect of thermal annealing and sample temperature on electrical characteristics CrNiCo/MBE n-GaAs schottky diodes
AHMET GÜMÜŞ
Doktora
Türkçe
1997
Fizik ve Fizik MühendisliğiErciyes ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NECATİ YALÇIN
- P-galyum arsenür (GaAs)/anodik izolasyon filmlerin arayüzey özelliklerinin incelenmesi
Investigation of interface properties in p-gallium arsenide (GaAs)/anodic insulator films
HAYRETTİN YÜZER
- TILn Se2 ve TIGaSe2 (Ternary) yarıiletken bileşiklerinin büyütülmesi ve bazı elektrik ve optik özelliklerinin incelenmesi
Başlık çevirisi yok
BAHATTİN ABAY
Doktora
Türkçe
1994
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. Y. KEMAL YOĞURTÇU
- Au/-Cu/n-GaAs kontaklarında anodik oksidasyon işleminin karakteristik diyot parametreleri üzerindeki etkileri
The effects of anodic oxidation treatment on characteristic diod parameters of Au-Cu/n-CaAs schottky contact
MEHMET BİBER
Yüksek Lisans
Türkçe
2000
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. ABDÜLMECİT TÜRÜT