Graphene transfer approaches with different support materials on the substrates with cavities
Oyuklu alt taşlar üzerinde farklı destek malzemeleri ile grafen aktarma yaklaşımları
- Tez No: 573120
- Danışmanlar: DOÇ. DR. MÜJDAT BALANTEKİN, DOÇ. DR. CEM ÇELEBİ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İzmir Yüksek Teknoloji Enstitüsü
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Mikro kapasitif sensör, karakteristik olarak, iletken ve hareketsiz duran bir alt elektrot ile buna paralel olarak yerleştirilmiş iletken ve hareket edebilen bir üst elektrottan oluşur. Bu yapı, kapasitif mikro-işlenmiş ultrasonik çevirgeç, basınç sensörü, resonatör ve biyolojik yada kimyasal madde algılama elemanı gibi uygulamalarda dönüştürücü olarak bulunabilir. Membran yapısında eğilmeye yol açan fiziksel girdi ultrason dalgası, basınç, biyolojik yada kimyasal bir malzeme olabilir. Nano malzemeler, yeni nesil nano ve mikro elektro mekanik sistemlerin (NEMS, MEMS) geliştirilmesinde büyük potansiyele sahiptir. Nano malzemelerin arasında grafen çok küçük kütlesi, yüksek yüzey hacim oranı, esnekliği, özel elektriksel ve mekanik özelliklerinden dolayı öne çıkan bir malzemedir. Ancak, grafenin kapasitif yapılar oluşturmak üzere mikro ölçekte oyuklu örnekler üzerine aktarılması kılcal veya elektrostatik kuvvetlerin etkisinden ötürü membran yapısının çökmesi veya yırtılması ile sonuçlanabilir. Bu çalışma, kapasitif mikro sensör olarak kullanılmak üzere çok ince grafen membranlarının oluşturulmasını ve karakterizasyonunu içermektedir. Bu amaç ile çapları 2 ile 100 μm arasında değişen deşikli alttaşlar hazırlanmıştır. Grafen mikro membran üretimi için, farklı destek malzemeleri kullanılarak, grafen transferi gerçekleştirilmiştir. 300 nm derinliğinde deşikli yapılar üzerinde çapları 5 μm'ye kadar ulaşan grafen membranlar taramalı elektron ve atomik kuvvet mikroskobu ölçümleri ile gösterilmiştir.
Özet (Çeviri)
A micro capacitive sensor characteristically embraces a thin conductive membrane which is freely suspended above an immovable counter electrode in a parallel plate geometry. Such capacitive structures are found in broad range of applications as a transducer like capacitive micro-machined ultrasonic transducer (CMUT), pressure sensor, resonator and biological or chemical material sensing element. The input can be an ultrasound wave, pressure, chemical or biological mass attachment which result in the deflection of the membrane. Emerging nano materials have shown great potential as candidates for generation of nano and micro electromechanical systems (NEMS, MEMS). Among these nano materials, graphene is regarded as a promising material because of its ultra low mass, thickness, high surface to volume ratio, flexibility, and extraordinary electrical and mechanical properties. However, the transfer of graphene on substrates with micro scale cavities is challenging since the fabrication of large area membranes with a smaller air gap often results in membrane tearing or collapse driven by capillary or electrostatic forces. This study presents a research on the fabrication and the characterization of graphene membranes to be used in micro capacitive sensor applications. Substrates which span a large array of circular and hexagonal micro cavities between 2-100 μm in diameter are fabricated. Graphene transfer with different support materials are studied to fabricate graphene micro membranes. Up to 5 μm diameter membranes on 300 nm deep cavities are demonstrated via scanning electron microscope (SEM) and atomic force microscope (AFM) tools.
Benzer Tezler
- Karmosin gıda boyasının bozunması için Ag/AgVO3@g-C3N4 nanokompozit fotokatalizörlerin geliştirilmesi
Investıgatıon of Ag/AgVO3@rGO@g-C3N4 nanocomposıtephotocatalysts for the degradatıon of carmoısıne fooddye
ESRA ÇAKAR
- Farklı karbon esaslı polipropilen nanokompozitlerin ısı iletim katsayılarının analitik ve deneysel olarak belirlenmesi
Analytical and experimental determination on heat transfer coefficients of different carbon based polypropylene nanocomposites
SÜLEYMAN GÖRKEM CANKARA
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Makine MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ ELA KATI SUNAY
- Comparative investigation of the effects of carbon nanotubes of different diameter and length on thermal and mechanical properties in pmma nanocomposite reinforced with mwcnt
Mwcnt takviyesiyle güçlendirilmiş pmma nanokompozitdeki farklı çap ve uzunluklarda karbon nanotüplerin termal ve mekanik özelliklere etkilerinin mukayeseli incelenmesi
MELTEM UZUNOĞLU
Yüksek Lisans
İngilizce
2023
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİLGÜN BAYDOĞAN
- Graphene based materials obtained from graphite and polyacrylonitrile based carbon fiber for energy storage and conversion systems
Enerji depolama ve dönüşüm sistemleri için grafit ve poliakrilonitril esaslı karbon fiberden grafen tabanlı malzemelerin üretilmesi
MEHMET GİRAY ERSÖZOĞLU
Doktora
İngilizce
2022
Kimyaİstanbul Teknik ÜniversitesiPolimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ABDÜLKADİR SEZAİ SARAÇ
PROF. DR. YÜCEL ŞAHİN