RF magnetron saçtırma yöntemi ile üretilen SmCo5 filmlerin yapısal, mekanik ve manyetik özellikleri ve süper iletken kalıcıanahtar uygulaması
Structural, mechanical and magnetic properties of SmCo5 films produced by RF magnetron sputtering technique and superconducting permanent switch application
- Tez No: 533971
- Danışmanlar: DOÇ. DR. MUSTAFA SERDAR ÖNSES
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Metalurji Mühendisliği, Engineering Sciences, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: SmCo5 manyetik ince film, RF magnetron saçtırma yöntemi, Nano sertlik, Süperiletken kalıcı anahtar, SmCo5 magnetic thin film, RF magnetron sputtering technique, Nano hardness, Superconducting permanent switch
- Yıl: 2018
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Erciyes Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tez çalışmasında RF magnetron saçtırma yöntemi ile üretilen SmCo5 manyetik ince filmlerin ısıl işlem sıcaklığının yapısal, morfolojik, nano-mekanik ve manyetik özellikler üzerindeki etkisi incelenmiştir. Oda sıcaklığında Si (100) altlık üzerine kaplanan SmCo5 ince filmlere argon ortamında 400oC, 500oC, 600oC ve 700oC sıcaklıklarda ısıl işlem uygulanmıştır. Bu filmlerin yapısal, morfolojik ve mekanik özellikleri sırasıyla, geliş açılı X ışını kırınım deseni (GIXRD), atomik kuvvet mikroskobu (AFM), taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve nano çentik yöntemleri ile incelenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre, oda sıcaklığında kaplanan numunelerin amorf yapıda olduğu, uygulanan ısıl işlem ile hem kristallik hem de tane boyutunun arttığı bulunmuştur. Ayrıca, artan ısıl işlem sıcaklığı ile nanosertlik ve elastik modülünün azaldığı gözlenmiştir. Farklı sıcaklıklardaki ısıl işlemler sonucunda filmlerde oluşan manyetik faz bölgelerinin değişimi manyetik kuvvet mikroskobu (MFM) ile görüntülenmiş ve manyetik özelliklerini belirlemek için histerezis eğrileri, süperiletken kuantum girişim cihazı (SQUID) kullanılarak incelenmiştir. Elde edilen sonuçlar ışığında en iyi manyetik özellik gösteren sıcaklık belirlenerek, süperiletken kalıcı anahtar uygulaması için manyetik altyapıyı oluşturacak değerlerin belirlenmesi hedeflenmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, the influence of annealing temperature on structural, morphological, nanomechanical and magnetic properties of SmCo5 thin films, which was produced by RF magnetron sputtering technique, was investigated. SmCo5 thin films were grown on a Si (100) substrate at room temperature, and subsequently annealed at 400°C, 500°C, 600°C, and 700°C in an argon atmosphere. Structural, morphological and nanomechanical properties of SmCo5 thin films were examined using the grazing incident Xray diffraction (GIXRD), atomic force microscopy (AFM), scanning electron microscopy (SEM) and nano indentation techniques. Results showed that the asdeposited SmCo5 thin films had a polycrystalline structure. Following the heat treatment, both crystallite and grain sizes increased, and thin film crystallinity improved. Also, nano hardness and reduced elastic modulus values decreased with the increasing annealing temperature. As a result of the heat treatment at different temperatures, the magnetic phase regions in the films were visualized by magnetic force microscopy (MFM) and the hysteresis curves were determined using the superconducting quantum interference device (SQUID) to determine their magnetic properties. In the light of the results obtained, the best magnetic property temperature was determined, and it was aimed to determine the magnetic infrastructure for the superconductor permanent switch application.
Benzer Tezler
- RF magnetron saçtırma tekniği ile üretilen çinko oksit ve galyum katkılı çinko oksit ince filmlerin fiziksel özelliklerinin karşılaştırılması
Comparison of the physical properties of zinc oxide and gallium doped zinc oxide thin films sputtered by RF magnetron technique
MURAT DELİORMANLI
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiTekirdağ Namık Kemal ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. KADİR ERTÜRK
DR. ÖĞR. ÜYESİ MAKBULE TERLEMEZOĞLU BİLMİŞ
- Deposition of nanocrystallized amorphous silicon thin films by magnetron sputtering
Nanokristalize edilmiş amorf silisyum ince filmlerin magnetron saçtırma yöntemi ile büyütülmesi
ELİF CEYLAN CENGİZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2013
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EYÜP SABRİ KAYALI
DOÇ. DR. OSMAN ÖZTÜRK
- Metal oksit ince filmlerin saçtırma tekniği ile üretimi karakterizasyonu ve gaz sensörü uygulamalarının araştırılması
Production and characterization of metal oxide thin films by sputtering technique and investigation of gas sensor applications
FATİH ŞENASLAN
Doktora
Türkçe
2022
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYHAN ÇELİK
- Planar perovskite solar cells with metal oxide transport layers by co-evaporation and hybrid vapor-solution sequential method
Birlikte buharlaştırma ve hibrit buhar çözeltisi sıralı yöntemi ile metal oksit delik (Hole) taşıma katmanlı düzlemsel perovskit güneş hücreleri
WIRIA SOLTANPOOR
Doktora
İngilizce
2020
EnerjiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
DR. ÖĞR. ÜYESİ SELÇUK YERCİ
- P-ZnTe/n-Si nanodiyotların üretimi ve aygıt karakterizasyonu
Fabrication and device characterization of p-ZnTe/n-Si nanodiodes
AKIN ABA
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik MühendisliğiNiğde Ömer Halisdemir ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FUNDA AKSOY AKGÜL