A micromachined pressure sensor
Mikroişlenmiş basınç sensörü
- Tez No: 476644
- Danışmanlar: PROF. DR. ABDULLAH ATALAR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2017
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Elektrik Elektronik Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Kapasitif mikroişlenmiş ultrasonik çevirici (CMUT), basitçe, aralarında boşluk bulunan hareket eden bir üst elektrot ile sabit bir alt elektrottan oluşan mikroelektromekanik bir cihazdır. Bu sade kütle-yay yapısına rağmen, CMUT lineer olmayan bir cihazdır ve çalışma prensipleri son zamanlarda formüle edilmiştir. Bu çalışmalara göre, üzerine uygulanan basınç ile üst elektrot hareket ettirilebilir ve basıncın miktarına göre de CMUT'ın rezonans frekansı değiştirilebilir. Dolayısıyla, CMUT'ı bir basınç sensörü elde etmek için kullanmak mümkündür. Bu açıdan, basıncı ortaya çıkarmak için yapmamız gereken şey CMUT'ın rezonans frekansını takip etmektir. Bunun en etkin yolu ise, bize CMUT'ın rezonans frekansını gerçek zamanlı takip etme kabiliyetini de sağlayan osilatör kullanımıdır. Ayrıca, CMUT ile çalışan entegre devreler dizaynı içinse en iyi yol Colpitts osilatörden yararlanmaktır. Bu tezde biz entegre devre (IC) düzeyinde bir dizayn hedeflediğimizden, CMUT tabanlı Colpitts osilatör ile bir basınç sensörü dizayn ediyoruz.
Özet (Çeviri)
Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) is a microelectromechanical device that is basically formed by a moving top electrode, a stable bottom electrode and a gap in between. In spite of its this simple mass-spring construction, CMUT is a nonlinear device and its working principles have been formulated. According to these studies, the top electrode can be set in motion by the applied pressure on it and by depending on the amount of that pressure, the resonant frequency of the CMUT can be altered. Therefore, it is possible to use CMUT to obtain a pressure sensor. In this respect, what we have to do is keep tracking of its resonant frequency to deduce the pressure. The most effective way of doing it, on the other hand, is using an oscillator circuit which also provides us the capability of tracking the resonant frequency in real time. Also, to design an integrated circuit that works with the CMUT, the best way is utilizing a Colpitts oscillator. In this thesis, we design a pressure sensor with CMUT based Colpitts oscillator.
Benzer Tezler
- A silicon micromachined frost sensor for industrial applications
Endüstriyel uygulamalar için silisyum mikroişlenmiş buzlanma duyargası
SAİD MUTAKA KAFUMBE
Yüksek Lisans
İngilizce
2001
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. TAYFUN AKIN
- Silicion micromachined capacitive pressure sensors for industrial and biomedical applications
Silisyum mikroişleme yöntemi ile üretilen endüstriyel ve biomedikal uygulamalar için kapasite basınç sensörleri
ORHAN ŞEVKET AKAR
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TAYFUN AKIN
- Realization of CMOS compatible micromachined chemical sensors
CMOS uyumlu mikroişlenmiş kimyasal sensörlerin gerçeklenmesi
TUĞBA DEMİRCİ
Yüksek Lisans
İngilizce
2002
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolSabancı ÜniversitesiBilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. YAŞAR GÜRBÜZ
- Resonance-based MEMS temperature sensors for temperature compensation of mems capacitive accelerometer
MEMS kapasitif ivmeölçerlerin sıcaklık duyarlılığının düzeltilmesi için rezonans tabanlı MEMS sıcaklık duyargaları
GÜLŞAH DEMİRHAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TAYFUN AKIN
- Wafer level vacuum packaging of MEMS sensors and resonators
MEMS sensör ve rezonatörler için pul seviyesinde vakum paketleme
MUSTAFA MERT TORUNBALCI
Yüksek Lisans
İngilizce
2011
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
PROF. DR. TAYFUN AKIN
PROF. DR. MEHMET ALİ SAHİR ARIKAN