Repetitive control of an XYZ piezo-stage for faster nano-scanning: Numerical simulations and experiments
Nano düzeyde daha hızlı tarama için XYZ hareketli piezo tarayıcının tekrarlı kontrolü: Benzetim ve deney
- Tez No: 285333
- Danışmanlar: DOÇ. DR. ÇAĞATAY BAŞDOĞAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Atomik kuvvet mikroskobu, Denetim sistemleri, Nanoteknoloji, Atomic force microscope, Control systems, Nanotechnology
- Yıl: 2011
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Koç Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
A Repetitive Controller (RC) is implemented to control the z-axis movements of a piezo-scanner used for AFM scanning and then tested through scan experiments and numerical simulations. The experimental and simulation results show that the RC compensates phase delays better than the standard PI controller at high scan speeds, which leads to less scan error and lower interaction forces between the scanning probe and the surface being scanned. Since the AFM experiments are not perfectly repeatable in the physical world, the optimum phase compensators of the RC resulting this performance are determined through the numerical simulations performed in MATLAB/Simulink. Furthermore, the numerical simulations are also performed to show that the proposed RC is robust and does not require re-tuning of these compensators when the consecutive scan lines are not similar and a change occurs in the probe characteristics.
Özet (Çeviri)
A Repetitive Controller (RC) is implemented to control the z-axis movements of a piezo-scanner used for AFM scanning and then tested through scan experiments and numerical simulations. The experimental and simulation results show that the RC compensates phase delays better than the standard PI controller at high scan speeds, which leads to less scan error and lower interaction forces between the scanning probe and the surface being scanned. Since the AFM experiments are not perfectly repeatable in the physical world, the optimum phase compensators of the RC resulting this performance are determined through the numerical simulations performed in MATLAB/Simulink. Furthermore, the numerical simulations are also performed to show that the proposed RC is robust and does not require re-tuning of these compensators when the consecutive scan lines are not similar and a change occurs in the probe characteristics.
Benzer Tezler
- Design, implementation and control of an overground gait and balance trainer with an active pelvis-hip exoskeleton
Aktif pelvis-kalça dış iskeletli zemin üzeri yürüyüş ve denge rehabilitasyon cihazının tasarımı, uygulanması ve kontrolü
HAMMAD MUNAWAR
Doktora
İngilizce
2017
Mekatronik MühendisliğiSabancı ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. VOLKAN PATOĞLU
- Elektriksel tahrikli robot manipülatörlerinin öğrenme kontrol metoduyla kontrol ve simülasyonu
The Simulation and control of a learning controller for an electrically driven robot manipulator
HÜRAY UĞUZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2003
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiMersin ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. HÜSEYİN CANBOLAT
- Aktif bir bilek ortez tasarımı ve denetimi
Design and control of an active wrist orthosis
ERDİ DOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Makine MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ERGİN KILIÇ
- Travma sonrası stres bozukluğunun üstbilişsel modeline ilişkin üniversite öğrencileri üzerinde bir inceleme
An examination of metacognitive model of posttraumatic stress disorder on university students
BETÜL POLAT
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
PsikolojiDokuz Eylül ÜniversitesiPsikoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ADVİYE ESİN YILMAZ SAMANCI
- A changing sense of self in the context of coercive control
Baskıcı kontrol ortamında değişen benlik algıları
AYLİN DENİZ ÜLKÜMEN
Yüksek Lisans
İngilizce
2014
PsikolojiBoğaziçi ÜniversitesiPsikoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SAFİYE SERRA MÜDERRİSOĞLU