Geri Dön

Repetitive control of an XYZ piezo-stage for faster nano-scanning: Numerical simulations and experiments

Nano düzeyde daha hızlı tarama için XYZ hareketli piezo tarayıcının tekrarlı kontrolü: Benzetim ve deney

  1. Tez No: 285333
  2. Yazar: SELMAN ABDULLAH CEBECİ
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. ÇAĞATAY BAŞDOĞAN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Atomik kuvvet mikroskobu, Denetim sistemleri, Nanoteknoloji, Atomic force microscope, Control systems, Nanotechnology
  7. Yıl: 2011
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Koç Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

A Repetitive Controller (RC) is implemented to control the z-axis movements of a piezo-scanner used for AFM scanning and then tested through scan experiments and numerical simulations. The experimental and simulation results show that the RC compensates phase delays better than the standard PI controller at high scan speeds, which leads to less scan error and lower interaction forces between the scanning probe and the surface being scanned. Since the AFM experiments are not perfectly repeatable in the physical world, the optimum phase compensators of the RC resulting this performance are determined through the numerical simulations performed in MATLAB/Simulink. Furthermore, the numerical simulations are also performed to show that the proposed RC is robust and does not require re-tuning of these compensators when the consecutive scan lines are not similar and a change occurs in the probe characteristics.

Özet (Çeviri)

A Repetitive Controller (RC) is implemented to control the z-axis movements of a piezo-scanner used for AFM scanning and then tested through scan experiments and numerical simulations. The experimental and simulation results show that the RC compensates phase delays better than the standard PI controller at high scan speeds, which leads to less scan error and lower interaction forces between the scanning probe and the surface being scanned. Since the AFM experiments are not perfectly repeatable in the physical world, the optimum phase compensators of the RC resulting this performance are determined through the numerical simulations performed in MATLAB/Simulink. Furthermore, the numerical simulations are also performed to show that the proposed RC is robust and does not require re-tuning of these compensators when the consecutive scan lines are not similar and a change occurs in the probe characteristics.

Benzer Tezler

  1. Design, implementation and control of an overground gait and balance trainer with an active pelvis-hip exoskeleton

    Aktif pelvis-kalça dış iskeletli zemin üzeri yürüyüş ve denge rehabilitasyon cihazının tasarımı, uygulanması ve kontrolü

    HAMMAD MUNAWAR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2017

    Mekatronik MühendisliğiSabancı Üniversitesi

    Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. VOLKAN PATOĞLU

  2. Elektriksel tahrikli robot manipülatörlerinin öğrenme kontrol metoduyla kontrol ve simülasyonu

    The Simulation and control of a learning controller for an electrically driven robot manipulator

    HÜRAY UĞUZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2003

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiMersin Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. HÜSEYİN CANBOLAT

  3. Aktif bir bilek ortez tasarımı ve denetimi

    Design and control of an active wrist orthosis

    ERDİ DOĞAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Makine MühendisliğiSüleyman Demirel Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ERGİN KILIÇ

  4. Travma sonrası stres bozukluğunun üstbilişsel modeline ilişkin üniversite öğrencileri üzerinde bir inceleme

    An examination of metacognitive model of posttraumatic stress disorder on university students

    BETÜL POLAT

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    PsikolojiDokuz Eylül Üniversitesi

    Psikoloji Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ADVİYE ESİN YILMAZ SAMANCI

  5. A changing sense of self in the context of coercive control

    Baskıcı kontrol ortamında değişen benlik algıları

    AYLİN DENİZ ÜLKÜMEN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    PsikolojiBoğaziçi Üniversitesi

    Psikoloji Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. SAFİYE SERRA MÜDERRİSOĞLU