DC reaktif magnetron için anahtarlamalı güç kaynağı tasarımı ve ZnO yapıların üretimi
Switching power supply design for DC reactive magnetron and production of ZnO structures
- Tez No: 244766
- Danışmanlar: PROF. DR. HASAN EFEOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Fotolüminesans, Çinko oksit, Photoluminescence, Zinc oxide
- Yıl: 2009
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada elektronik malzeme üretiminde kullanılan DC reaktif magnetron sıçratma (DCRMS) sistemine enerji sağlayacak anahtarlamalı mod güç kaynağı tasarımı ve üretimi gerçekleştirildi. Bu tasarımda, DC-DC çevirici için anahtarlamalı mod tekniği kullanıldı. Üretilen güç kaynağında SMPS (Switch Mod Power Supply - Anahtarlamalı Mod Güç Kaynağı) teknolojisinden dolayı maksimum güç, minimum güç kaybı ile sağlanmaktadır. DC magnetron sistemi için akım-gerilim koruması ve yalıtım sağlanmıştır. Tasarım ve üretimi gerçekleştirilen güç kaynağı, magnetron sisteminde kullanılarak ZnO ince film üretimi ile test edildi. Üretilen ZnO ince filmlerin optik karekterizasyonu fotolümünesans (PL) tekniği kullanılarak yapıldı.
Özet (Çeviri)
In this work switch mode power supply designed and constructed which will be used for DC Reactive Magnetron Sputter (DCRMS) as a power supply. DCRMS has application in productions of electronic materials. In this design switch mode method used for DC-DC conversion. The constructed power supply provided maximum power with minimum power loss owing to SMPS (Switch Mode Power Supply) technology. Designed DC magnetron system is provided current-voltage protection and isolation. The power supply which is performed design and produced was tested during the production of ZnO thin film production within a magnetron system. Deposited ZnO thin films optical characterized and the formation of ZnO crystal formation proved by photoluminescence (PL).
Benzer Tezler
- Reaktif DC magnetron sıçratma ile ITO üretimi ve karakterizasyonu
Deposition of ITO by reactive magnetron sputtering and its characterization
SENİZ ÇOLAK
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SERDAR ÖZGEN
- Reaktif DC magnetron sıçratma tekniği ile üretilmiş vanadyum oksit ince filmlerin gaz sensör özelliklerinin incelenmesi
Investigation of gas sensor properties of vanadium oxide thin films grown by reactive DC magnetron sputtering technique
SEMİH İNCEÇAM
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SELİM ACAR
- İyon bombardımanının reaktif DC magnetron kopartma tekniğiyle büyütülen metalik ince filmlerin yapısal ve elektriksel özellikleri üzerindeki etkileri
Effects of ion bombardment on the structural and electrical properties of metallic thin films prepared by reactive DC magnetron sputtering
ÖZLEM DUYAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2001
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZAFER DURUSOY
- Effect of duty cycle on the properties of vanadium oxide thin films deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering
Görev döngüsü üretim parametresinin atmalı dc reaktif magnetron sıçratma tekniği ile üretilmiş vanadyum oksit ince filmlerin özelliklerine etkisi
SİNAN ÖZGÜN
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Mühendislik BilimleriAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Reaktif DLC magnetron sıçratma/ PECVD hybrid tekniğiyle biriktirirlen Ti/TixCy /DLC ince film kaplamalarının üretim koşullarının belirlenmesi ve karakterizasyonu
Investigation of production parameters and characterization of Ti/TixCy/DLC thin film cootings deposited using reactive magnetron sputtering/ PECVD hybrid technique
TOLGA TAVŞANOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2001
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. OKAN ADDEMİR