Reaktif DLC magnetron sıçratma/ PECVD hybrid tekniğiyle biriktirirlen Ti/TixCy /DLC ince film kaplamalarının üretim koşullarının belirlenmesi ve karakterizasyonu
Investigation of production parameters and characterization of Ti/TixCy/DLC thin film cootings deposited using reactive magnetron sputtering/ PECVD hybrid technique
- Tez No: 104106
- Danışmanlar: PROF. DR. OKAN ADDEMİR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Elmas, Kaplama, Karbon, İnce filmler, Diamond, Coating, Carbon, Thin films
- Yıl: 2001
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
REAKTIF DC MAGNETRON SIÇRATMA / PECVD HİBRİT TEKNİĞİYLE BİRİKTİRİLEN Ti / TixCy / DLC İNCE FİLM KAPLAMALARIN ÜRETİM KOŞULLARININ BELİRLENMESİ ve KARAKTERİZASYONU ÖZET DLC (diamond-like carbon, elmas benzeri karbon) ince filmler yüksek sertliklerinin yanısıra çok düşük sürtünme katsayıları, yüksek elektrik dirençleri, optik geçirgenlikleri, kimyasal mertlikleri gibi üstün niteliklerinden ötürü, özellikle aşınmaya dayanıklı kaplamalar, biomedikal, optik kaplamalar, manyetik kayıt malzemelerinin kaplanması vs.. gibi geniş bir yelpazede uygulama alanları olan malzemelerdir. Bu çalışmada elmas benzeri karbon esaslı fonksiyonel gradyanlı Ti/TixCy/DLC kaplamaları üretmek için kullanılan yöntem magnetron sıçratma ve d.c. plazma destekli kimyasal buhar biriktirme yöntemlerinin birlikte kullanıldığı hibrit bir tekniktir. İncelenen DLC ince film kaplamaların üretim parametreleri; (60-200 V) bias voltajı, sıçratma gücü (1,0-1,1 kW) ve“plasma booster”akımı (1,7-2,5 A) olarak belirlenmiştir. Kaplamaların elementel derinlik profilleri ve morfolojileri ikincil iyon kütle spektrometresi (SIMS - Secondary Ion Mass Spectrometer) ve EPMA (Electron Probe Micro Analyzer) kullanılarak, mekanik özellikleri ise kalotest ve scratch tester cihazlarıyla belirlenmiştir. Üretilen kaplamalar üzerinde gerçekleştirilen karakterizasyon çalışmaları sonucunda, biriktirme parametrelerine bağlı olarak 2,14-3,90 um arasında değişen kaplama kalınlıkları, ve çizik testi neticesinde 35,5-68 N aralığında değişen kritik yük değerleri elde edilmiştir. Yapılan EPMA ve SIMS çalışmaları neticesinde taban malzeme üzerine biriktirilmiş titanyum, kolonsal yapıya sahip TiC katmanları ve ince DLC tabakadan oluşan“fonksiyonel gradyanlı”yapı gözlemlenmiştir. vnı TX. IIIISEKft&aETUl KUBUUJ
Özet (Çeviri)
INVESTIGATION of PRODUCTION PARAMETERS and CHARACTERIZATION of Ti / TixCy/ DLC THIN FILM COATINGS DEPOSITED USING REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING / PECVD HYBRID TECHNIQUE SUMMARY Due to their high hardness, high wear resistance, low friction coefficient, chemical inertness, high electrical resistance and optical transparency, diamondlike carbon (DLC) thin films have great potential for especially wear-resistant applications, coatings on recording media, biomedical coatings, optical coatings etc...In this study diamondlike carbon based functionally gradient Ti/TixCy/DLC films were deposited by the hybrid technique of magnetron sputtering and d.c. plasma-enhanced chemical vapor deposition. The coating parameters investigated in our study are; substrate bias voltage (60-200 V), sputtering power (1.0-1.1 kW) and plasma booster current (1.7- 2.5 A). The elemental depth profile and the morphology of the coatings were examined by secondary ion mass spectrometer (SIMS) and electron probe micro analyzer (EPMA). The mechanical properties were investigated by calotest and scratch adhesion tests. During the characterization studies on coatings deposited in above mentioned conditions coating thicknesses of between 2,14-3,90 urn, and critical load values resulting from scratch tests of 35,5-68 N are obtained. EPMA and SIMS studies conducted on the coated specimens proved the presence of a functionally graded coating constitued of a thin titanium layer followed by columnar titanium carbide layers and finally a thin DLC top layer on the substrate. IX
Benzer Tezler
- Reaktif buharlaştırma tekniğiyle hazırlanan SnOx ve Sn-SnOx ince filmlerinin elektrik özellikleri
Başlık çevirisi yok
BERKAY GÖRGEZ
- Reaktif buharlaştırma tekniği ile hazırlanan AIOx ve AI-AIOx ince filmlerinin dielektrik özelliklerinin alana bağlı değişimleri
Başlık çevirisi yok
GÜZİN AKTULGA
Doktora
Türkçe
1985
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiFizik Bilim Dalı
PROF. DR. HÜLYA DEMİRYONT
- Reaktif güç kompanzasyonunda tasarruf sağlanması
Economizing on the reactive power compansation
İLHAN TARIMER
- Reaktif artritlerde etyolojik faktörler ve immünolojik profil
Başlık çevirisi yok
MEHMET HADİ YAŞA
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
1993
RomatolojiAnkara Üniversitesiİç Hastalıkları Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MURAT DUMAN
- Reaktif güç kompanazasyonu ve sakıncaları
Reactive power compensation and ıts drawbacks
ÖNDER GÜLER
Yüksek Lisans
Türkçe
1995
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. NESRİN TARKAN