Synthesizing germanium and silicon nanocrystals embedded in silicon dioxide by magnetron sputtering deposition technique
Magnetron saçtırma tekniği ile silisyum dioksit içerisinde silisyum ve germanyum nanokristallerin sentezlemesi
- Tez No: 201859
- Danışmanlar: PROF. DR. RAŞİT TURAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: M?knat?sl? saçt?rma, silisyum, germanyum, nanokristal, silisyum dioksit, Nanokristaller, Magnetron sputtering, silicon, germanium, nanocrystal, silicon dioxide, Nanocrystals
- Yıl: 2007
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Yar?iletken nanokristallerin elektronikteki uygulamalar? gelecek vadeden alanlar aras?nda yer almaktad?r. Entegre devre uygulamalar?nda kullan?lmak üzere yar?-iletken nanokristallerin sentezlenmesi ve analiz edilmesi için birçok teknik geliştirilmiştir. Bu çalışmada, silisyum ve germanyum nano-kristallerin silisyum dioksit içerisinde mıknatıslı saçtırma yöntemi ve peşi sıra yüksek sıcaklıkta fırınlanmayla sentezlenmiştir. Tek katmanlı ve çok katmanlı örnekler eş-saçt?rma yöntemiyle hazırlanmışlardır. Yoğunluk ve fırınlama koşullar?n?n nano-kristallerin büyüklük dağılımı, şekilleri, yoğunluğu ve oluşturuldukları matris yapı içerisindeki konumlanmaları üzerindeki etkileri elektron mikroskopisi ölçümleri ile incelenmiştir. Ge-Ge TO tepesi Raman spektroskopisi ile incelenerek germanyum nano-kristaller oluşumu ve üzerlerinde oluşan oksit stresinin izlenmiştir. Si-O-Si asimetrik gerilim bandı Fourier dönüşümlü kızıl ötesi spektroskopisi ile incelenerek silisyum dioksit yap?n?n germanyum nano-kristal oluşumuyla iyileşmesi üzerine çalışılmıştır. Silisyum nano-kristallerin boyutlarındaki ve yoğunluklarındaki değişimle görünür ve yak?n k?z?l-ötesi bölgede (550nm-1050nm) ışıma özellikleri fotolüminesans spektroskopisi ile çalışılmıştır.
Özet (Çeviri)
Applications of semiconductor nanocrystal in electronics are promising. Various techniques were developed to synthesize and analyze semiconductor nanocrystals for integrated circuit applications. In this study, silicon and germanium nanocrystals were synthesized in silicon dioxide matrix by magnetron sputtering deposition and following high temperature furnace annealing. Multilayer and single layer samples were prepared by co-sputtering depositions. Transmission electron microscopy measurements were carried out to analyze annealing effects on nanocrystal size distribution, change in shape, density and localization in silicon dioxide (SiO2). Ge- Ge Traverse Optical (TO) peak was monitored using Raman spectroscopy to investigate germanium nanocrystal formation and stress effects of silicon dioxide. Si- O-Si asymmetric stretching band is examined by Fourier transform infrared transmission spectroscopy to study silicon dioxide matrix recovery with germanium nanocrystal formation. Luminescence characteristics of silicon nanocrystals in visible v and near infrared region (550nm-1050nm) with changing nanocrystal size and density were studied with photoluminescence spectroscopy.
Benzer Tezler
- 1, 10-fenantrolin türevleri ile taç eter grubu içeren yeni schiff bazı ligandları ve geçiş metal komplekslerinin sentezi
The synthesizing of novel schiff base ligand containing crown ether groups with 1, 10-phenanthroline derivatives and transition metal complexes
İBRAHİM ERDEN
- Düzlemde tek serbestlik derecesine sahip mekanizmaların kinematik sentezi
Başlık çevirisi yok
HÜSEYİN MUTLU
Doktora
Türkçe
1994
Makine MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiMakine Ana Bilim Dalı
PROF.DR. İ. DENİZ AKÇALI
- Design and synthesis of functional molecular squares
Fonksiyonel moleküler karenin dizaynı ve sentezi
HANDAN AKPINAR
Yüksek Lisans
İngilizce
2006
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ENGİN UMUT AKKAYA
- Doymamış trisiklit anhidrid bileşiğinin Heck tipi hidroarilasyon reaksiyonları
The Heck type hydroarylation reactions of the unsaturated tricyclic anhydride compound
EMEL PELİT