Geri Dön

Fabication and characterization of microelectromechanical resonators

Mikrometre boyutlarda üretilmiş mekanik çınlaçların üretim ve karaterizasyonu

PDF İndir

  1. Tez No: 180664
  2. Yazar: SEVİL SÖZER
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. RECAİ ELLİALTIOĞLU, DR. TARIK REYHAN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Çnlaçlar, Dirsek, Köprü, Kalite Faktörü, Lazer Kiri³ Sap-mas, Fiber optik Giri³imölçeri.iv, Resonators, Cantilever, Bridge, Quality Factor, Laser Beam Deec-tion, Fiber Optic Interferometer.iii
  7. Yıl: 2006
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
  10. Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Mikrometre boyutlarda üretilmi³ mekanik çnlaçlar günümüzde bilim ve teknolo-jideki önemli uygulamalarndan dolay oldukça ilgi görmektedir. Bu çnlaçlarkuvvetteki, yükteki ya da basnçdaki de§i³imi ölçmek için elektometrelerde vemagnetometrelerde kullanlr. Ayrca mikro-çnlaçlar radyo-frekans süzgecinin birparças olarak da ileti³im alannda kullanlmaktadr.Bu çal³ma, mikron boyutlarda yaplm³ çnlaçlarn üretim ve karakteri-zasyonu amacyla yürütülmü³tür. Yaltkan altta³ üzerine yaplandrlm³ sil-isyum ve silisyum nitrat yapsndaki çnlaçlar, yüzeyde mikron boyutlardaüretilmi³tir. Çnlaçlarn üretimi Bilkent Üniversitesi leri Ara³trma Laboratu-varnda yaplm³tr. Çnlaçlarn karakterizasyonu ise iki de§i³ik yöntem kul-lanlarak yaplm³tr. Karakterizasyonda bulunan sonuçlar daha sonra kiri³ ku-ram (beam theory) ile bulunan sonuçlarla kar³la³trlm³tr.

Özet (Çeviri)

Micromachined mechanical resonators are of considerable interest because oftheir many important scientic and technological applications. They can be usedas a components of radio-frequency lters in communication systems, mechanicalelectrometer or magnetometer for sensitive detection of force, charge, pressure.This work is directed towards the fabrication and characterization of micro-electromechanical resonators, cantilevers and bridges. The SOI cantilever and thesilicon nitride cantilevers and bridges are fabricated by using surface microma-chining techniques. They are fabricated in the Advanced Research Laboratory ofBilkent University. The center frequencies are ranging from 20 kHz to 270 kHz.The characterization of cantilevers and bridges are done by using the beam deec-tion method and the ber optic interferometer method. The dynamic responseof the rst devices, such as the resonance frequencies and the quality factors willbe reported. In addition, simple beam theory and some fundamental loss mecha-nisms will be discussed. The experimental results will also be compared with thetheoretical ones.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    216327

    Scale dependency of heat transfer modes, fabrication of si nanowires and their integration with MEMS

    Isı aktarım şekillerinin ölçek ile bağlantısı, si nanotel imalatı ve nanotellerin MEMS ile birleştirimi

    ÖZGÜR ÖZSUN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2008

    Makine MühendisliğiKoç Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Bölümü

    YRD. DOÇ. DR. ERDEM ALACA

  2. Tez No

    179075

    Flexible polymer display technologies

    Esnek polimer ekran teknolojileri

    ALİ OSMAN SEVİM

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2008

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiBoğaziçi Üniversitesi

    Sistem ve Kontrol Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ŞENOL MUTLU

  3. Tez No

    47981

    Fabrication and characterization of high speed resonant cavity enhanced schottky photodiodes

    Resonant boşluk destekli yüksek hızlı schottky fotodedektörlerinin yapımı ve karakterizasyonu

    M.SAİFUL İSLAM

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    1996

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Y.DOÇ.DR. EKMEL ÖZBAY

  4. Tez No

    79312

    Fabrication and characterization of high-speed, hig quantum efficiency, resonant cavity enhanced schottky photodidoes

    Rezonant kavite ile güçlendirilmiş yüksek, hızlı ve yüksek verimli schottky fotodiyot üretimi ve karakterizasyonu

    ERHAN POLATKAN ATA

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    1998

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. EKMEL ÖZBAY

  5. Tez No

    79325

    Fabrication and characterization of semiconductor double quantum well diode lasers

    Çift kuvantum kuyulu yarıiletken lazerlerinin yapımı ve incelenmesi

    BÜLENT EROL SAĞOL

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    1998

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ALİ SERPENGÜZEL

Geri Dön