Geniş bir sıcaklık çalışma aralığı için entegre silikon basınç algılayıcısı
Başlık çevirisi mevcut değil.
- Tez No: 84069
- Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. VASİLE BEŞLİU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Basınç, Silisyum, Sıcaklık, Tasarım, Pressure, Silicon, Temperature, Design
- Yıl: 1999
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gebze Yüksek Teknoloji Enstitüsü
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
IV ÖZET İnce bir tek kristalli zar ve daha kalın bir silikon kenardan oluşan minyatür bir katı- hal piezoresistif basınç algılayıcısı tasarlandı ve çalışma ilkeleri ve imalat teknolojisi geniş bir şekilde anlatıldı. Silikon basınç algılayıcısının sıcaklık bağımlılığının ısıl kompanzasyonu için bazı elektronik devreler tasarlandı. Entegre devrelerin planar teknolojisi silikon zarlı basınç algılayıcısının imalatı için temel teknoloji olarak analiz edildi. Özel kompanze entegre devreli tek kristalli bir silikon basınç algılayıcısının mikroelektronik teknolojisi araştırıldı. -60°C-+125°C çalışma sıcaklık aralığında basınç algılayıcısının esas karakteristikleri çıkarıldı.
Özet (Çeviri)
V SUMMARY A miniature solid-state piezoresistive pressure sensor, which consists of a thin monocrystalline silicon membrane supported by a thicker silicon rim, is designed and principles of its work and fabrication -technology are widely described. Some electronic circuits for thermocompensation of the temperature dependence of the silicon pressure sensor are investigated. Planar technology of integrated circuits as the basic technology for fabricating silicon membrane pressure sensor is widely considered. The microelectronic technology of a monolithic silicon pressure sensor.with p-n junction compensation integrated circuits is elaborated and proposed. The main dependence characteristics of pressure sensor in the temperature working range from -60 °C to +125 °C are presented.
Benzer Tezler
- Switching mode power supply and fly back converter design
Başlık çevirisi yok
ERKİN CÜCE
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektrik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EMİN TACER
- Bir dizel motorunda seramik kaplamanın performansa etkilerinin incelenmesi
A Study on the effect of ceramic coating to the performance in a diesel engine
HASAN ALİ ÇELİK
- Optical properties of gase single crystal and experimental study
GaSe kristalinin optik özellikleri. Deneysel çalışma
TEVFİK KEMAL ÖZCAN
Yüksek Lisans
İngilizce
1996
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BÜLENT G. AKINOĞLU
- Sürekli mıknatıslı baskılı devre endüvili doğrusal fırçasız doğru akım motoru tasarımı
Design of permanent magnet linear brushless direct current motor with printed curcuit armature
ÖZGÜR ÜSTÜN
Doktora
Türkçe
2000
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. R. NEJAT TUNÇAY
- Application of decomposition techniques in turbulent jet plows
Ayrıklaştırma yöntemlerinin türbülanslı jet akışlarına uygulanması
TAMER YILMAZ
Doktora
İngilizce
1998
Uçak Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiGemi İnşaatı ve Gemi Makineleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ALİ KODAL