Geri Dön

Growth and characterization of molybdenum-based oxide thin film by RF magnetron sputtering

RF magnetron sıçratma tekniğiyle molibden bazlı filmlerin büyütülmesi ve karakterizasyonu

PDF İndir

  1. Tez No: 784767
  2. Yazar: NESLİHAN ŞİŞMAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. İBRAHİM BURÇ MISIRLIOĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Karakterizasyon, Molibden trioksit, Mıknatıssal saçtırma, Radyo frekanslı tanıma, İnce filmler, Characterization, Molybdenum trioxide, Magnetron sputtering, Radio frequency identification, Thin films
  7. Yıl: 2022
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Sabancı Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Molibden oksit ince filmler, çeşitli kararlı fazlar sergiler. Enerji depolama, sensörler, güneş pilleri, kızılötesi dedektörler ve akıllı pencerelerde bir dizi uygulama için çekici olan ilginç yapısal, optik, kimyasal ve elektriksel özelliklere sahiptirler. Ayrıca molibden oksit ince filmler, nitrojen dioksit (NO2), karbon dioksit (CO2), hidrojen (H2) ve amonyağın (NH3) hassas tespiti için kimyasal dirençli gaz sensörlerinde çoğunlukla tercih edilir. Bu çalışmada, gaz sensörü uygulamaları için optimize edilmiş MoO3 koşulları incelenmiştir. Molibden oksit ince filmler, oksijen (O2) ve argonun varlığında metalik bir molibden hedefi kullanılarak silikon gofretler üzerine Radyo Frekansı (RF) magnetron püskürtme ile biriktirilmiştir. Molibden oksit ince filmlerin kristal yapısını oluşturmak için yerinde ısıl işlem uygulandı, ardından yapısal ve stokiyometrik özellikleri için X-Işınları Difraksiyonu (XRD), morfolojik karakterizasyonu için Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM), Fotolüminesans ve Elektron Paramanyetik Rezonans (EPR) kullanıldı. Numunelerin yarı iletken karakteri hakkında fikir edinmek için optik özellikler elipsometri ile analiz edildi ve tabaka direnci 4 Noktalı Prob yöntemiyle ölçüldü. Deneylerden elde edilen bilgiler ışığında, optik ve elektriksel özelliklerini etkileyen yapısal niteliklerini iyileştirmek için püskürtme sistemindeki büyüme koşullarını tartışıyoruz ve kalınlık etkisini tartışıyoruz.

Özet (Çeviri)

Molybdenum oxide thin films exhibit a variety of stable phases. They possess interesting structural, optical, chemical, and electrical characteristics that are appealing for a number of applications in energy storage, sensors, solar cells, infrared detectors, and smart windows. Additionally, molybdenum oxide thin films are mostly preferred in chemiresistive gas sensors, for sensitive detection of nitrogen dioxide (NO2), carbon dioxide (CO2), hydrogen (H2), and ammonia (NH3). In this study, optimized conditions of MoO3 have been investigated for gas sensor applications. Molybdenum oxide thin films have been deposited by Radio Frequency (RF) magnetron sputtering on silicon wafers using a metallic molybdenum target in the presence of oxygen (O2) and argon. In situ heat treatment was applied to form a better crystalline structure of molybdenum oxide thin films followed by an X-Ray Diffractometer (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM), Photoluminescence, and Electron Paramagnetic Resonance (EPR) were used for the structural, stoichiometric, morphological, and defect concentration analyses respectively. The optical characteristics were analyzed by ellipsometry to gain insight into the semiconducting character of the samples and the sheet resistance was measured by the 4-Point Probe method. Considering the information gathered from the experiments, we discuss the growth conditions in the sputtering system and thickness effect to improve their structural qualities affecting their optical and electrical characteristics.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    100708

    Mo-N kaplamaların ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle üretimi ve karakterizasyonu

    Production and characterisation of Mo-N coatings by arc physical vapour deposition technique

    M. KÜRŞAT KAZMANLI

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    1999

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    PROF.DR. MUSTAFA ÜRGEN

  2. Tez No

    39387

    Toz metalurjisi yöntemleri ile üretilen çeşitli W-Ni-Fe ve W-Ni-Cu ağır alaşımların mikroyapısal ve fiziksel karekterizasyonu

    Microstructural and physical characterization of various W-Ni-Fe and W-Ni-Cu heavy alloys manufactured via powder metallurgy methods

    GÜNKUT ERNAS

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1993

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    DOÇ.DR. M. LÜTFİ ÖVEÇOĞLU

  3. Tez No

    110

    Protozoonların kültüründe soya fasulyesinden hazırlanan besiyerlerinin kullanımı

    Using media prepared from soybean for protozoa culture

    SEMRA ÖZÇELİK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1984

    Jeoloji MühendisliğiCumhuriyet Üniversitesi

    Mikrobiyoloji Ana Bilim Dalı

    DOÇ.DR. GÜLENDAME SAYGI

  4. Tez No

    116

    Deri temizliği hemşirelik tekniğine uygun olarak yapılmış ve yapılmamış hastalarda ameliyat sonrası yara enfeksiyonunun görülme sıklğı

    A Comparison of wound infection incidences between the patients who were cleansed in ward according to the nursing technique and those who were cleansed in operating room

    NÜKHET TÜRKEL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1984

    HemşirelikCumhuriyet Üniversitesi

    Hemşirelik Ana Bilim Dalı

  5. Tez No

    233

    Çukurova bölgesinde biyoklimatik veriler kullanılarak açık ve yeşil alan sistemlerinin belirlenmesi ilkeleri üzerinde bir araştırma

    A research on the determination of the principles in open and green spaces systems by using the bioclimatic data in Çukurova region

    MEHMET FARUK ALTUNKASA

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    1987

    Çevre MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Peyzaj Mimarlığı Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ERDOĞAN GÜLTEKİN

Geri Dön