Nötron aktivasyon analizi yöntemi ile ince filmlerin kalınlık tayini
Başlık çevirisi mevcut değil.
- Tez No: 75039
- Danışmanlar: PROF. DR. H. HÜSEYİN GÜVEN
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Film, Nötron aktivasyon analizi, Film, Neutron activation analysis
- Yıl: 1998
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nükleer Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
ÖZET Gelişen teknoloji ile endüstrinin birçok dalında yaygınca kullanılan ince Alimlerin fiziksel parametrelerinden olan kalınlıklarının belirlenmesi özeliklerinin tayini açı sından oldukça önemlidir. İnce Alimlerde kalınlık tayini birçok farklı yöntem ile yapılmakla birlikte günü müzde bu yöntemleri kullanan kompakt cihazlar geliştirilmiştir. Bu cihazların yüksek teknoloji ürünleri oluşu maliyetlerinin yüksekliği problemini getirmekte bu nedenle mevcut imkanlar dahilinde alternatif yöntemlerin geliştirilmesi gerek mektedir. Bu yüksek maliyetli cihazların geliştirilmesinde kullanılan alışılmış tekniklerin yanısıra nükleer yöntemler de oldukça önem kazanmıştır. Bu çalışmada kalınlıkların ölçülmesinde nötron aktivasyon analizi yöntemi seçil miş, ilk etapta ışınlamaların yapıldığı İTÜ Nükleer Enerji Enstitüsü Triga Mark II reaktörünün termal ve epitermal akıları iki ayrı yöntem ile belirlenmiş ve bu lunan akı değerleri ile yapılan elementer analiz sonuçları atomik soğurmadan bu lunan değerler ile karşılaştırılarak akıların doğruluğu kontrol edilmiştir. Belir lenen termal ve epitermal akılar ayrıca Ta2O5 filimi için kullanılan alt tabaka malzemesi olan kaplama camının elementer analizi ile test edilmiş ve üreticinin verdiği değerler ile uyumlu olduğu görülmüştür. Fizik bölümü ince filim laboratuvarında sol-jel yöntemi ile kaplanmış Ta2O5 ve vakum depozisyon tekniği ile elde edilmiş altın ve indiyum çok tabakalı meta lik Alimlerde kalınlıklar belirlenmiştir. Ta2Ü5 Alimlerinde komplementer yöntem olarak kullanılan optik ölçümlerden yararlanılmış ve iki yöntem verilerinin kom binasyonundan filim yoğunlukları belirlenmiştir. Filmlerin kalınlıklarının belirlenmesinde yöntem olarak filim ve alt tabaka malze melerinden üretilen radyoizotopların yayımladığı gama ışınlarının şiddetlerinin karşılaştırılması baz alınmış ve buradan alt tabaka kalınlığı ile yapılan bir oran lama ile filim kalınlığı tesbit edilmiştir. Yapılan ölçümler, reaksiyon etki kesiti, hedef çekirdeğin izotopik bolluğu ve üre tilen radyoizotopun yarı ömrü uygun olan malzemelerden yapılmış filimler kul lanıldığında nötron aktivasyon yönteminin filim kalınlığını belirlemede nanometre den daha küçük değerlere inebileceğini göstermiştir.
Özet (Çeviri)
SUMMARY THICKNESS DETERMINATION OF THIN FILMS BY NEUTRON ACTIVATION ANALYSIS Thin films have become very popular on many research facilities in the last 20 years because they have been widely used in many products dealing with elec tronics and optics. For this reason, to determine properties of thin films is very important. To determine these properties, their physical and optical parameters should be measured. Thin films can be produced by means of many different methods and with many different composition depending on their purposes. Coating techniques such as vacuum deposition and sputtering are physical techniques and they are very effective for both metallic and metal-oxide film production. Chemical coating techniques are generally based on specific chemical reactions, like thermal growth technique, are proper for making metal-oxide layers on the surfaces. This method, on the other hand, has some thickness limitation. Other chemical techniques such as electrolytic coating are also common and used for mostly to obtain metallic films. Sol-gel methods can also be proper for the films which can be prepared as chemical solution. Oxidation states of pure chemical elements or pure metallic compositions are common thin film formations. In this work multilayered TaaOs thin films produced with sol-gel method on Cor ning cover glass substrate and metallic thin films were produced with the vacuum evaporation method both on the glass and aluminum substrates in the Thin Film Laboratory of ITU Physics Department. Physical parameter thickness and optical refractive index can be precisely mea sured by interferometric methods. On the other hand when the film is mul tilayered and not transparent, it is not easy to determine the thickness of the independent layers with the optical methods. In this case nuclear methods can play a leading role with the ion-beam techniques. However ion-beam requires an accelerator and experimental setup considered is not as easy as in other met hods. In thin film thickness measurement, Rutherford Back Scattering (RBS) is very successive not only in thickness measurement but also in the determination of thin film depth resolution. XI
Benzer Tezler
- Source apportionment of urban aerosols using recep for modelling approach; An application to Ankara
Alıcı ortam modelini kullanarak kent aerosollerinin kaynaklara dağılımı ve Ankara'ya uygulanması
MUSTAFA YATIN
- Nötron aktivasyon analizi yöntemi ile besin maddelerinin analizi
Application of instrumental neutron activation analysis qantitative analysis of foods
MOJGAN B. TAMADON
Yüksek Lisans
Türkçe
1997
Nükleer Mühendislikİstanbul Teknik ÜniversitesiElektrik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GENÇAY ŞARMAN
- Nötron aktivasyon analizi yöntemi ile cam içinde 59-27Co belirlenmesi
Determination of 59-27Co in glass by the method of neutron activation analysis
İSMAİL ÇELİK
Yüksek Lisans
Türkçe
1999
Nükleer Mühendislikİstanbul Teknik ÜniversitesiNükleer Mühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERDİNÇ EDGÜ
- Determination of minor and trace elements in bone samples by neutron ativation analysis and fluorine by ion selective electrode
Kemik numunelerinde minör ve eser elementlerin aletli nötron aktivasyon analizi yöntemi ve flor'un iyon seçici elektrod ile tayini
GÜLAY YILMAZ
Yüksek Lisans
İngilizce
1997
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NAMIK K. ARAS
- Nötron aktivasyon analizi ile madde tayini
Determination of the amount of elements by neutron activation analysis
NİYAZİ MERİÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
1990
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. NURAY BÜGET