Geri Dön

RF magnetron sputter sistemi ile pasif devre elemanı rezistör üretimi ve karakterizasyonu

RF magnetron sputter system and passive circuit element resistor production and characterization

PDF İndir

  1. Tez No: 596841
  2. Yazar: KEMAL BERK SÖNMEZ
  3. Danışmanlar: PROF. DR. SEFER BORA LİŞESİVDİN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Dirençlilik, Fiziksel buhar biriktirme, Galyum nitrür, MMIC, Nanoteknoloji, Yarı iletken ince filmler, Yüzey özdirenç yöntemi, Resistance, Physical vapour deposition, Gallium nitride, MMIC, Nanotechnology, Semiconductor thin films, Surface resistivity method
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gazi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Monolitik mikrodalga tümleşik devreler (MMIC), radar ve elektronik harp uygulamalarının temel yapıtaşını oluşturan mikrodalga parçaların hemen hepsinde kullanımı mevcut olan, günümüzün kritik teknolojileri arasında görülmektedir. Teknik açıdan donanımlı bir altyapı desteği ile geliştirilen GaN tabanlı MMIC yongalar, mikrodalga parçaların içerisinde yüksek voltaj ve yüksek sıcaklıkta performans göstermesinden ötürü güç yükselteç ve faz kaydırıcı olarak yüksek sınır frekanslarda çalışabilmesi özelliklerinden dolayı son yıllarda gelişen teknoloji ile farklı çalışma konuları için tercih edilir bir hale gelmiştir. MMIC teknolojisi, tek kristal alttaş üzerine aktif ve pasif devrelerin özel olarak tasarlanmış yapıların imal edilmesinde kullanılan bir teknolojidir. MMIC yapılarında pasif devre elemanı olarak görev alan rezistöryapıların RF magnetron saçtırmasistemi ile üretimi ve karakterizasyonu, geliştirme çalışmalarına paralel olarak 4 nokta prob düzeneği ile yapılan elektriksel ölçüm sonuçlarına göre 30 ohm/sq değerine sahip tabaka direnci ile tasarıma uygun şekilde elde edildi.

Özet (Çeviri)

MMIC chips, which are used in almost all of the microwave components that constitute the basic building blocks of monolithic microwave integrated circuits (MMIC), radar and electronic warfare applications, are among today's critical technologies. Developed with technically equipped infrastructure support, GaN-based MMIC chips have become the preferred choice for different working subjects due to the technology developed in recent years due to their high voltage and high temperature performance due to their high voltage and high frequency frequencies. MMIC technology is a technology used in the manufacture of specially designed structures for active and passive circuits on a single crystal bottomstone. The production and characterization of resistive structures, which serve as passive circuit elements in MMIC structures, with RF magnetron sputter system, were obtained according to the design with a resistivity of 30 ohm / sq.

Geri Dön