GaN tabanlı alan etkili transistörlerde SiC arka-yüzey geçiş deliği aşındırma uygulaması
Back side via hole etching application of SiC for GaN based field effect transistors
- Tez No: 564449
- Danışmanlar: PROF. DR. SEFER BORA LİŞESİVDİN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Yarıiletken teknolojisinde transistörler önemli bir yere sahiptir. Transistörler temel olarak üç bileşenden oluşmaktadır. Bu yapılar kaynak, akaç ve kapı metallerinin bir yarıiletken üzerinde konumlandırılarak elektriksel iletimi sağlamaktadır. Bu yapılar sayesinde yüksek güç, yüksek frekans ve hızlı anahtarlama işlemleri yapılabilmektedir. Günümüzde farklı ihtiyaçlara göre transistör veya monolitik mikrodalga entegre devreleri (ing.MMIC) tasarlanıp üretilmektedir. Farklı amaçlar için üretilen bu aygıtların performansını artırmak adına çeşitli yöntemler geliştirilmiştir. Bu yöntemlerden biri de geçiş deliği uygulamasıdır. Yarıiletken aygıt üretiminin arka yüz işlemleri olarak adlandırılan bölümünde malzeme aşındırılarak ön yüzdeki aygıt metalleri ile kontak ettirilmesi için kuyu açılması işlemine geçiş deliği denmektedir. Bu yöntem ile alttaş 100 µm'ye inceltilerek arka yüzeyden, ön yüzde bulunan kaynak metaline kontak sağlanır. Bu kontak sayesinde kaynak metali alttaşın tabanından topraklanmış olur. Elektriksel olarak kaynak metalinin indüktansının azaltılması hedeflenerek bu yöntem geliştirilmiştir. Geçiş deliği işlemi elmastan sonra en sert malzeme olarak bilinen silikon karbür (SiC) malzemesi üzerinde yapılmıştır. Bu çalışmada indüklenmiş elektron çiftli plazma reaktif iyon aşındırma (ICP RIE) sistemi kullanılarak SiC malzemesinin flor tabanlı kuru aşındırma yöntemi ile geçiş deliği işleminin iyileştirilmesi ve aşındırma mekanizması rapor edilmiştir. Geçiş deliği aşındırma işlemine kadar gelen süreç anlatılarak, arka yüz işlemleri ele alınmıştır. Aşındırma işleminin sonuçlarını analiz etmek için SEM sistemi kullanılmıştır. DC ölçümler ile geçiş deliği yapılarının dirençleri analiz edilmiştir.
Özet (Çeviri)
Transistors have a significant role in semiconductor technology. Transistors are mainly composed of three components as source, drain and gate metals. These structures provide electrical conduction by placing the source, drain and gate metals on a semiconductor. High power, high frequency and fast switching operations can be made by these structures. Recently, transistors or monolithic microwave integrated circuits (MMIC) are designed and manufactured according to different needs. Various methods have been developed to improve the performance and optimization of these devices produced for different purposes. One of these methods is the via hole application. In the part of so-called back side processes of semiconductor device production, a well opening process for contacting the material with the device metals on the front side is referred to as the via hole. With this method substrates are thinned to 100 µm from back-side, contact is provided to weld metal on the front side. The weld metal is grounded from the bottom of the substrate by this contact. This method has been developed by aiming to reduce the inductance of source metal electrically. The via hole process was performed on the silicon carbide (SiC) material known as the hardest material after diamond. The optimization and dry etching mechanism of the via hole process with fluorine-based dry etching method of SiC material by using reactive ion etching system (ICP RIE) with inductive coupled plasma has been reported on this study. With describing whole via hole dry etching process back-side operations are discussed. The SEM system was used to analyze the results of the etching process. As a result of DC measurement, it has been show that the resistance of SiC via hole structures were analyzed.
Benzer Tezler
- Contributions to design of dsp controlled pulse width modulated ac-ac converters with new generation semiconductor switches
Yeni nesil anahtarlama elemanları ile sayısal işaret kontrollü, darbe genişlik modülasyonlu alternatif akım kıyıcı tasarımına katkılar
ENİS BARIŞ BULUT
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektrik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ DERYA AHMET KOCABAŞ
- Organik alan etkili transistörlerin üretimi ve karakterizasyonu
Fabrication and characterization of organic field effect transistors
HİDAYET GÖK
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AHMET ALTINDAL
- Karbon tabanlı yeni hibrit nano-yapıların modellenmesi ve analizi
Modeling and analysis of carbon based new hybrid nano-structures
ÜNAL DEĞİRMENCİ
Doktora
Türkçe
2019
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MESUT KIRCA
- Investigation of parallel-connected GaN E-HEMT VSI-based servo drives
Paralel bağlı GaN E-HEMT VSI tabanlı servo sürücülerin incelenmesi
HÜSEYİN YÜRÜK
Doktora
İngilizce
2022
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. OZAN KEYSAN
- Electric field dependent optoelectronic nature of InGaN/GaN quantum structures and devices
InGaN/GaN kuvantum yapılarının ve aygıtlarının elektrik alana bağlı optoelektronik doğası
EMRE SARI
Doktora
İngilizce
2012
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiElektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü
DOÇ. DR. HİLMİ VOLKAN DEMİR