Geri Dön

Elektrokaplama ile MEMS yapılarının üretimi

Fabrication of MEMS structures using electroplating

PDF İndir

  1. Tez No: 541578
  2. Yazar: YASEMEN İNCE
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. MEHMET AKİF ERİŞMİŞ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2018
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Necmettin Erbakan Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

MEMS elektronik ve mekanik sistemlerin minyatürleştirilmiş halidir. MEMS teknolojisi sağlık, savunma sanayi, otomotiv gibi birçok alanda düşük güç tüketimi, düşük maliyet, arttırılmış işlevselliği gibi sebeplerle tercih edilmektedir. Bu tez çalışmasında MEMS yapılarının üretiminde bir çok farklı alanda karşılaşılan nikel elektrokaplama ile ilgili incelemeler yapılmıştır. Nikel elektrokaplama ile üretilecek MEMS yapılarının tasarımları ve simülasyonları yapılmıştır. Nikel elektrokaplamada kaliteli MEMS yapılarının üretimine büyük etkisi olan baskı gerilimi; kaplama sıcaklığı, akım yoğunluğu, zaman gibi parametreler değiştirilerek optimize edilmiştir. KLayout programı kullanılarak hareketli ve hareketsiz MEMS yapıları tasarlanmıştır. Sonlu elemanlar simülasyon programı COMSOL Multiphysics kullanılarak hareketli MEMS yapılarının simülasyonları yapılmıştır ve tasarlanan yapıların üretimleri gerçekleştirilmiştir. Üretimi gerçekleştirilen yapıların SEM görüntüleri alınmıştır. Üretilen yapılar empedans analizörü ve prob istasyonu ile test edilmiştir. Necmettin Erbakan Üniversitesi laboratuvarında ilk kez hareketli ve hareketsiz MEMS yapılarının üretimi gerçekleştirilmiştir. Bu çalışma hem Mikro Elektro-Mekanik Sistemlerin Necmettin Erbakan Üniversitesinde yaygınlaşıp bilgi birikiminin artmasına zemin hazırlayacak hem de bu konuda çalışma yapan araştırmacılarla ortak çalışmalar yapılarak bu konuda yapılan çalışmaların geliştirilmesine katkı sağlayacaktır.

Özet (Çeviri)

MEMS is a miniaturized version of electronic and mechanical systems. MEMS technology is preferred for many reasons such as low power consumption, low cost and increased functionality in many areas such as health, defense industry and automotive. In this thesis, researches have been made about nickel electroplating encountered in many different areas during the production of MEMS structures. The designs and simulations of MEMS structures were performed for nickel electroplating process. Compressive stress which has a strong effect on the production of high quality MEMS structures in nickel electroplating, has been optimized by changing parameters such as plating temperatures, current density and time. Using the KLayout program, movable and stationary MEMS structures have been designed. Movable MEMS structures were simulated using the COMSOL Multiphysics finite element analysis program and designed structures were produced. SEM images of produced structures were taken. Produced structures were tested with the impedance analyzer and probe station. For the first time the production of movable and stationary MEMS structures has been realized in the laboratory of Necmettin Erbakan University. This study will contribute to the development of the studies on MEMS by working jointly with the researchers working on Micro Electro-Mechanical Systems as well as preparing the ground for the increase of knowledge of Micro Electro-Mechanical Systems in Necmettin Erbakan University.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    409248

    Bioapplications of integrated MEMS catheter tracking system for MRI and split ring resonator based glucose sensor

    MRG için MEMS tümleşik kateter takip sistemi ve yarık halka çınlayıcı temelli glukoz sensörü biyouygulamaları

    EMRE KUŞAKCI

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Bilim ve TeknolojiBoğaziçi Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ARDA DENİZ YALÇINKAYA

  2. Tez No

    167389

    MEMS gyroscopes for tactical-grade intertial measurement applications

    Taktik amaçlı ataletsel ölçüm uygulamaları için MEMS dönüölçerler

    SAİD EMRE ALPER

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2005

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TAYFUN AKIN

  3. Tez No

    850550

    Formation and characterization of electroformed nickel based structures

    Nikel esaslı elektroform yapıların üretimi ve karakterizasyonu

    MERTCAN BAŞKAN

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2024

    Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. İSHAK KARAKAYA

    DOÇ. DR. METEHAN ERDOĞAN

  4. Tez No

    349735

    Motion and energy transfer through coupled micro/nano-scale cantilever beams via mechanical resonance absorption

    Mikro/nano-boyutlu ankastre kirişlerde mekanik rezonans absorpsiyonu yardımıyla hareket ve enerji transferi

    ÜNAL DEĞİRMENCİ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ERDAL BULĞAN

  5. Tez No

    167107

    Development of test structures and methods for characterization of mems materials

    Mems malzemelerinin karakterizasyonu için test yapıları ve yöntemlerinin geliştirilmesi

    ENDER YILDIRIM

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2005

    Makine MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SAHİR ARIKAN

    PROF. DR. TAYFUN AKIN

Geri Dön