İnce film büyütülmesi için halojen alttaş ısıtıcısı geliştirilmesi
Development of halogen substrate heater for the growth of thin films
- Tez No: 537486
- Danışmanlar: PROF. DR. MUSTAFA TEPE
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Ege Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tez çalışmasında, in-situ ince film üretim sistemlerinde kullanılabilecek ve reaktif gaz ortamında çalışabilecek yüksek performanslı bir alttaş ısıtıcısı geliştirilmiştir. YBCO ince film üretiminin, genel olarak ince film üretimi için kullanılan parametrelere kıyasla daha agresif koşullar gerektirmesi nedeniyle, YBCO ince filmler bu ısıtıcının hedef malzemesi olarak seçilmiştir. Bu kapsamda, öncelikli olarak ticari alttaş ısıtıcıları incelenmiş, bu ısıtıcılarının süperiletken YBCO ince filmler gibi zorlu üretim parametreleri gerektiren in-situ ince film büyütülmesi süreçlerindeki problemleri belirlenmiş ve bu problemlere çözümler sunulmuştur. Üretilebilirlik ve üretim maliyetleri de göz önünde bulundurularak, halojen ışık kaynaklı, kompakt, uzun ömürlü ve yüksek performanslı bir alttaş ısıtıcısı tasarlanmış ve üretilmiştir. Üretilen alttaş ısıtıcısı hava atmosferinde, ultra-yüksek vakumda, Argon ve Oksijen gazları akışında, Oksijen atmosferinde ve YBCO ince film büyütülmesi sürecinde test edilmiştir. Test sonuçlarından elde edilen veriler ışığında, bu tez çalışması kapsamında geliştirilen alttaş ısıtıcısının ultra-yüksek vakum ve oksijen uyumlu, herhangi bir parçacık salınımı yapmayan, uzun ömürlü, kontrollü ısıtılıp soğutulabilen ve istenilen sıcaklıklarda istikrarlı olarak çalışmaya elverişli bir sistem olduğu gösterilmiştir. Sonuç olarak; bu tez çalışmasında geliştirilen halojen alttaş ısıtıcısının, süperiletken YBCO ince filmler dahil yüksek sıcaklık ve yüksek performans gerektiren tüm oksit kristal ince film üretim süreçlerinde güvenle kullanılabilir, profesyonel bir sistem elemanı olduğu gösterilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, a compact and high performance halogen substrate heater has been developed. This heater is compatible to use in thin film deposition systems particularly highly reactive gas environment for in-situ thin film processing. Since the YBCO thin film deposition needs agressive process conditions compered to the crystalline thin film deposition in general, it has been choosen as the main thin film process for this heater. In this maner, the commercial substrate heaters have been inspected and the main drowbacks of them in such extreme parameters for in-situ thin film growth like superconductive YBCO thin films have examined, and possible solutions in order to achieve a high performance heater that can handle the needs for thoose processes have been determined. By keeping the feasibility and production costs in mind, a compact and durable heater has been developed with high heating performance by using a halogen lighting source. This substrate heater has been tested in air, in ultra-high vacuum as well as Argon and Oxigen gas flow and Oxigen atmosphere in order to satisfy the growth process of the YBCO thin film. In the light of this data, it has been shown that the heater developed in this thesis is competible for ultra-high vacuum thin film systems which does not produce any outgasing. It is also compact which does not need cooling during the process. The temperature controlling is very precise and the heating performance is very high that it can reach the highest tempetature (i.e. 1000oC) in seconds.
Benzer Tezler
- İnce film güneş pili uygulamaları için poliimit alt taşların yüzey modifikasyonu, metalizasyonu, bakır-indium-galyum-sülfür soğurucu tabakanın sprey piroliz yöntemi ile büyütülmesi
Surface modification and metalization of polyimide substrates and deposition of copper-indium-gallium-sulfide thin films via spray pyrolysis for thin film solar cell
HÜLYA ÜNVER
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
EnerjiTobb Ekonomi ve Teknoloji ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
DOÇ. DR. NURDAN DEMİRCİ SANKIR
PROF. DR. MEHMET PARLAK
- Yüksek verimli ince film güneş hücresi uygulamaları için GaAs epikatmanların si alttaş üzerine büyütülmesi
Growth of GaAs epilayers on si substrate for high efficiency thin film solar cell application
MUHAMMED AKTAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUSTAFA KULAKCI
- Growth of cu2znsns4 absorber layer on flexible metallic substrates for thin film solar cell applications
İnce film güneş pili uygulamaları için Cu2ZnSnS4 soğurucu katmanının esnek metalik alttaşlar üzerinde büyütülmesi
ŞEBNEM YAZICI
Yüksek Lisans
İngilizce
2014
Bilim ve Teknolojiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GULNUR AYGUN OZYUZER
- Magnetron sputtering growth of AZO/ZnO /Zn(O,S) multilayers for Cu2ZnSnS4 thin film solar cells: Material and device characterization
Cu2ZnSnS4 ince film güneş hücreleri için AZO/ZnO /Zn(O,S) çoklu katmanlarının mıknatıssal saçtırma ile büyütülmesi: Malzeme ve aygıt karakterizasyonu
FULYA KÖSEOĞLU
Doktora
İngilizce
2017
Enerjiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LÜTFİ ÖZYÜZER
DOÇ. DR. GÜLNUR AYGÜN ÖZYÜZER
- Organik yarıiletken tabanlı fotovoltaik aygıtlar için şekilli ince film altlıkların kullanımı ve etkilerinin incelenmesi
The effect of the usage of sculptured thin film substrates for organic semiconductor based photovoltaic devices
DİLEK DEMİROĞLU
Doktora
Türkçe
2019
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN
DR. ÖĞR. ÜYESİ BEYHAN TATAR