Geri Dön

Laplace derin seviye geçiş spektroskopisi (LDLTS) yöntemi ile kusur karakterizasyonu

Defect characterization using laplace deep level transient spectroscopy (LDLTS) technique

PDF İndir

  1. Tez No: 507491
  2. Yazar: ÖMER GÖKSEL ERBAŞ
  3. Danışmanlar: PROF. DR. YAŞAR GÜRKAN ÇELEBİ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: DLTS tekniği, DLTS technique
  7. Yıl: 2018
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: İstanbul Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Genel Fizik Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Derin seviye geçiş spektroskopisi bir termal spektroskopi yöntemidir. Bu çalışmada derin seviye geçiş spektroskopisinin iki farklı yöntemi olan Boxcar DLTS ve Laplace DLTS kullanılarak yarıiletken kusur karakterizasyonu yapıldı. Araştırmaların yapılabilmesi için öncelikle Boxcar DLTS ve LDLTS sistemlerinin kurulumu amaçlandı. Kurulan sistemlerde Czochralski yöntemi ile büyütülen n ve p tipi silisyum kristalleri ve GaInNAs pin yapılar incelendi. Yapılan ölçümler sonucunda Boxcar DLTS ve LDLTS ölçüm sonuçları tartışıldı. Boxcar DLTS yöntemi ile CZ silisyum kristallerde yapılan ölçümler n tipi için 0.1272eV, p tipi için 0.0604eV aktivasyon enerjisine sahip tek bir seviye bulundu. Aynı örnekler için LDLTS yönteminin yüksek enerji çözünürlüğü sayesinde n tipi için 0.18eV ve 0.085eV, p tipi için 0.0156eV ve 0.108eV iki termal donör enerji seviyesi karakterize edildi. Boxcar yöntemi ile GaInNAs malzeme içerisinde 7 adet kusur seviyesi tespit edildi. Kusur seviyelerin sayısının fazla olması ve örneğin yapısından kaynaklı sebeplerden LDLTS yöntemi ile GaInNAs malzemenin karakterizasyonu yapılamadı. LDLTS ve Boxcar DLTS sonuçlarından LDLTS enerji çözünürlüğünün gerekli şartlar sağlandığında Boxcar DLTS'ten daha yüksek olduğu belirlendi. LDLTS yöntemi gerekli şartlar tamamen sağlanmadığında çalışmadı. Boxcar DLTS yönteminin yakın enerji seviyelerini ayırt edemediği fakat LDTLS yönteminin çalışmadığı bölgelerde bile mevcut seviyeler için ortalama enerji değerlerini verebildiği gösterildi.

Özet (Çeviri)

Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS) is a thermal spectroscopy technique. In this study, we have performed both Boxcar DLTS and Laplace DLTS (LDLTS) experiments on three different samples, Schottky diodes fabricated on Czochralski (CZ) grown n-type and p-type Si and a GaInNAs pin structure, in order to investigate working parameters of LDLTS technique. We have discussed our measurement process and the results obtained on all the samples mentioned above. Particular attention was paid to LDLTS with an eye on the relative resolution power of the technique over is compatriot Boxcar DLTS CZ silicon wafers treated at 450 C0 were known to produce oxygen related defects commonly named as Thermal Donors (TD) Boxcar DLTS experiments performed on these kinds of samples gave a single energy level of 0.1272 eV (n-type) and 0.0604 eV (p-type). Higher energy resolution LDLTS method for the same samples resulted in distinguishing TD energy levels giving 0.18 eV and 0.085 eV for the n-type, and 0.0156 eV and 0.108 eV for p-type. Seven different energy signatures were detected in the GaInNAs sample by the Boxcar techniqe. Characterization of these levels by LDLTS method could not be achieved due to excessive number of exponential components in the total signal and due to the reasons related to the structure of the sample. LDLTS and Boxcar DLTS results indicated that LDLTS energy resolution was higher than that of Boxcar DLTS when the required conditions were met. The LDLTS method did not work when the necessary minimum conditions were not fully met. It has been shown that Boxcar DLTS method cannot distinguish nearly spaced energy levels but can give only average energy values for defect levels even in regions where LDTLS method does not work.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    769821

    La place de la bande dessinée dans les manuels de Français

    Fransızca ders kitaplarında çizgi romanın yeri

    PINAR SEZER

    Yüksek Lisans

    Fransızca

    Fransızca

    2022

    Eğitim ve ÖğretimMarmara Üniversitesi

    Yabancı Dil Öğretimi Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. YAPRAK TÜRKAN YÜCELSİN TAŞ

  2. Tez No

    467209

    Kısmen veya tamamen akışkana daldırılmış sonsuz derin akışkan ortamındaki kabukların hidroelastik ve elastoakustik analizi

    Hydroelastic and elastoacoustic analysis of partially and fully submerged shells in infinitely deep water

    İBRAHİM TUĞRUL ARDIÇ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2017

    Gemi Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Gemi İnşaatı ve Gemi Makineleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. AHMET ERGİN

  3. Tez No

    633653

    NOISE REMOVAL OF THERMAL IMAGES USING DEEP LEARNING APPROACH

    TERMAL GÖRÜNTÜLERDE DERİN ÖĞRENME YAKLAŞIMIYLA GÜRÜLTÜ GİDERME

    AHMET ÇAPCI

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2020

    Savunma ve Savunma Teknolojileriİstanbul Teknik Üniversitesi

    Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. BEHÇET UĞUR TÖREYİN

  4. Tez No

    66470

    Oscillation problems of the closed seas

    Kapalı denizlerin salınım problemleri

    SİNAN ÖZEREN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1997

    Jeoloji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Meteoroloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. H. NÜZHET DALFES

  5. Tez No

    603885

    Meshless modeling of submarine landslide generated fullynonlinear waves and runup

    Deniz tabanındaki heyelanlar ile sürülen doğrusal dışı dalgaların hareketlerinin ve kıyıya tırmanışlarının ağsız sayısal yöntemle modellenmesi

    BURHAN TURGUT ÖZBAR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    İnşaat MühendisliğiBoğaziçi Üniversitesi

    İnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. OSMAN SENAİ BÖREKÇİ

Geri Dön