Experimental and computational investigation of zinc oxide based surface acoustic wave devices
Çinko oksit tabanlı yüzey akustik dalga aygıtlarının deneysel ve hesaplamalı olarak geliştirilmesi
- Tez No: 374345
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ALİ KEMAL OKYAY
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2014
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Piezoelektrik malzemeler mikrofonlar, ivme ol çerler, hoparl örler, hidrofonlar, bası n ç sens örleri gibi farkl ı d ön üşt ür üc ü tiplerinde kullan ılmaktad ır. İnce fi lm piezoelektrik malzemeler geleneksel b üy ük piezoelektrik seramiklerle kar şılaştırıldığında CMOS teknolojisi ile entegre cihazlar geliştirilmesi açısından umut vericidir. Bu ince filmlerin arasında, çinko oksit (ZnO) vanadyum (V) ile katkılandığında çok büyük piezoelektrik etki göstermesi sebebiyle ilgi çekicidir. Bu çalışmada ZnO ile V-katkılı ZnO ince filmlerin kaplanması geliştirilmiştir. ZnO ince filmlerin malzeme karakterizasyonu ger çekle ştirilmiştir. Ayn ı zamanda ZnO temelli y üzey akustik dalga (SAW) aygı tlar ı geliştirilmiştir. SAW aygıtlar giriş ve çıkış olmak üzere birbirine geçen dönüştürücü (IDT) çiftlerinden oluşur. Değişen elektrik alan giriş IDT den uygulandığında piezoelektrik ince filmin y üzeyinde y üzey akustik dalgalar olu şturur ve bu dalgalar çıkış IDT de tekrar elektriksel sinyale ddönüştürülür. ZnO ve V-katk l ı ZnO temelli SAW aygı tlar dizayn edilmi ş ve üretilmiştir. SAW ayg ıtlar ını n frekans cevapları ölçülmüştür. Buna ek olarak, sonlu eleman yöntemi kullanılarak SAW aygıtlarının simulasyonla rı yapılmış ve simulasyon sonuçları ölçüm sonuçları ile tutarlılık göstermiştir. SAW aygıtlarının rezonans frekansları ve geçiş kayıpları tartışılmıştır.
Özet (Çeviri)
Piezoelectric materials are used in different types of transducers such as microphones, accelerometers, speakers, hydrophones, pressure sensors etc. Compared to traditional bulk piezoelectric crystals, thin film piezoelectric materials are promising to realize integrated devices with CMOS technology. Among thin film materials, zinc oxide (ZnO) is attractive due to the giant piezoelectric effect when doped with vanadium. In this study, we investigate the deposition of thin film ZnO and V-doped ZnO films. Materials characterization of ZnO thin films is performed. We also investigate surface acoustic wave (SAW) devices based on ZnO thin films. SAW devices are formed by a pair of interdigitated transducers (IDTs), input and output IDTs. IDTs are fabricated onto the piezoelectric thin film. Applied oscillating electric field from input IDT creates surface acoustic waves in the piezoelectric thin film and these acoustic waves are converted back into an electrical signal at the output IDT. SAW devices based on ZnO and V-doped ZnO films were designed and fabricated. Frequency response of SAW devices is measured. In addition, finite element simulations of SAW devices are shown to be in agreement with measurement results. We discuss resonance frequency and insertion loss of SAW devices.
Benzer Tezler
- ZnO-tabanlı nanoyapıların ilk prensiplere dayalı yöntemlerle modellenmesi ve incelenmesi
Modeling and investigation of ZnO-based nanostructures via first-principles methods
MEHMET ARAS
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ÇETİN KILIÇ
- Düzlemsel güneş kollektörlerinde seryum oksit – su ve çinko oksit-su nanoakışkanları kullanımının ısıl verime etkisinin deneysel ve sayısal olarak incelenmesi
Experimental investigation of the effects of using ceryum oxide –water (CeO2-Water) and zinc oxide-water (ZnO-Water) nanofluids on thermal efficiency in a flat plate solar collectors
SÜLEYMAN PERÇİN
Doktora
Türkçe
2024
Makine MühendisliğiBatman ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ NEŞE BUDAK ZİYADANOĞULLARI
- Multiscale computational investigation of the kynurenine 3-monooxygenase catalyzed hydroxylation reaction
Kinürenin 3-monooksijenaz katalizli hidroksilasyon tepkimesinin çok boyutlu hesaplamalı kimya yöntemleriyle incelenmesi
YILMAZ ÖZKILIÇ
- Makine öğrenmesi yöntemleri ile hibrit ve kompozit ZA-27 alaşımlarının aşınma davranışlarının karşılaştırmalı analizi
Comparative analysis of wear behavior of hybrid and composite ZA-27 alloys using machine learning methods
SENA NUR ADIYAMAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Endüstri ve Endüstri MühendisliğiSakarya ÜniversitesiEndüstri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÜLTEKİN ÇAĞIL
- Karaciğerdeki etil alkol metabolizmasına karvakrol, timol, çinko ve selenyum'un etkilerinin teorik olarak incelenmesi
The theoritical investigation of carvacrol, thymol, zinc and selenium to the ethanol methabolism in liver
FAİK GÖKALP
Doktora
Türkçe
2013
BiyokimyaEskişehir Osmangazi ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TEMİR ALİ DEMİR
