Hot filament assisted chemical vapor deposition of diamont coatings
Sıcak filaman yardımlı kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle elmas kaplama
- Tez No: 35710
- Danışmanlar: PROF. DR. A. MACİT ÖZENBAŞ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Silisyum (1 1 1) yüzeyi, Elmas filmler, Sıcak filaman yardımıyla kimyasal biriktirme yöntemi, Cubo-octahedral elmas yapısı, Elmas kaplama, Kimyasal buhar çöktürme, Silisyum, Silicon (111) substrate, Diamond thin films, Hot-filament assisted chemical vapor deposition, cubo-octahedral form of diamond, diamond-like carbon (DLC), Diamond coating, Chemical vapor deposition, Silicon
- Yıl: 1994
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
öz SICAK FÎLAMAN YARDIMLI KİMYASAL BUHAR BİRİKTİRME YÖNTEMİYLE ELMAS KAPLAMA AKBAŞ, Aykan Yüksek Lisans Tezi, Metalürji Mühendisliği Anabilim Dalı Tez Yöneticisi: Prof. Dr. A. Macit ÖZENBAŞ Ağustos 1994, 123 sayfa Bu çalışmada, Silisyum (111) yüzeyi üzerinde elmas filmin büyüme özellikleri incelenmiştir. İnce elmas film oluşumu değişik parametreler için araştırılmıştır. Kolaylığı ve uygunluğu nedeniyle, sıcak filament yardımıyla buhar biriktirme tekniği seçilmiştir. Gerekli olarak, tungsten filament sıcaklığı ve vakum çalışma basıncı deneyler esnasında sabit alınmış, diğer parametreler örneğin, altlık sıcaklığı, gaz geçiş hızı değiştirilmiştir. Kaplanacak yüzeyin elmas pasta ile çizilmesi ile elmas kristallerinin o yüzeyde çekirdeklenmesinin daha kolay olacağı düşünülmüştür. Ayrıca etil alkol konsantrasyonu arttırıldığında, yuvarlak, elmas benzeri karbon yapılar oluşmuş, fakat alkol konsantrasyonu belli değerler altında tutulduğunda, elmas kristalleri çekirdeklenmiş ve büyümüşlerdir. Aynı şekilde, yüksek altlık sıcaklığında, altlık yüzeyi grafit ile kaplanmıştır. Kısa buharlaştırma zamanlarında çekirdeklenme yoğunluğunun düştüğü görülmüştür. Fakat altlık sıcaklığı belli değerlereindirildiğinde cubo-octahedral çekirdeklenme gözlenmiş ve buharlaştırma sûresinin uzun tutulmasıyla da çekirdeklenme yoğunluğunun arttığı tesbit edilmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT HOT FILAMENT ASSISTED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF DIAMOND COATINGS AKBAŞ, Aykan M.S, in Metallurgical Engineering Supervisor: Prof. Dr. A. Macit ÖZENBAŞ August, 1994, 123 pages In this study, the growth characteristics of diamond films on Silicon (111) substrates were examined. Diamond thin films for various modes of parameters were studied. Due to its ease and convenience, hot filament assisted chemical vapor deposition technique was chosen. Essentially, tungsten filament temperature and vacuum operating pressure were taken as a constant during experimentation, other parameters, such as; substrate temperature, gas flow rate and deposition time were changed. ît was thought that scratching the substrate with diamond paste has potential for the nucleation of diamond crystals. In addition, when the ethyl alcohol concentration was increased to higher values, ball-shaped, diamond-like carbons (DLC) formed, but when it was kept in the critical range, then, diamond crystals nucleated and grew. Similarly, at higher substrate temperatures, the substrate surface was coated with graphite. At shorter processing times, nucleation density was very low or insufficient; but when the temperature of the substrate holder was decreased, mcertain amounts of cubo-octahedral form of diamond nucleation could be seen, and also as the evaporation time increased, nucleation density also increased.
Benzer Tezler
- Hava-jetli tekstüre işleminde hacimlilik (bulk) incelemesi
Bulkiness of air-jet textured yarns
ARZU GÖNENÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
1997
Tekstil ve Tekstil Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ALİ DEMİR
- Krep teksture teknolojisi
Crepe texturing technology
SERDAR ALEMDAR
Yüksek Lisans
Türkçe
1995
Tekstil ve Tekstil Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. ALİ DEMİR
- Elektron ışın kaynağı ve otomotiv endüstrisindeki uygulamaları
Başlık çevirisi yok
ERCAN CİHAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SELAHATTİN ANIK
- Toz metalurjisi yöntemleriyle geliştirilen 9OW7N;3Fe ağır alaşımlarının sıvı faz sinterlemesi süreçleriyle üretilmesi ve karakterizasyonu
Liquid phase sintering processes and characterization of 9OW-7N-3Fe heavy alloys developed by P/M methods
TUNCAY ŞULAN