Analysis of thermal drift in atomic force microscopy and design of compensating MEMS-based micro-stage
Atomik kuvvet mikroskobunda gözlenen ısıl sapmanın analizi ve sapma önleyici mikro-yapı tasarımı
- Tez No: 325543
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. HAMDİ TORUN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Atomik kuvvet mikroskobu, Atomic force microscope
- Yıl: 2012
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Boğaziçi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Tek-molekül kuvvet spektroskopisi güçlü bir araştırma alanı haline gelmiştir. En sık kullanılan tek-molekül kuvvet spektroskopisi teknikleri optik cımbız, manyetik cımbız ve atomik kuvvet mikroskobudur. Her üç teknikte de deneylerdeki hassasiyet sondanın pozisyonunu ölçmek için kritik önem taşır. Deneysel kurulumdaki ısıl kayma ölçümlerinin kararlılığı ve doğruluğu için zararlıdır. AFM kurulumunda oluşacak sıcaklık dalgalanması manivelanın bükülmesine neden olur. AFM'deki uzun zaman ölçekli deneyler için ortam sıcaklığındaki istikrarın kritik olması AFM manivelanın genellikle bimateryal yapıda ve sıcaklık değişimine karşı hassas olmasındandır. AFM'deki ısıl sapma bir manivela ve sabit bir örnek yüzeyi arasında sabitlenmiş bulunan biyomoleküller için, manivela yüzeye doğru büküldüğü takdirde moleküller üzerine gelen kuvvet artacağından, zararlı olabilir. Buna ek olarak, ısının neden olduğu bükülme yanlış kuvvet okumalarına ve sıfır kuvvet düzeyinde kaymaya neden olur. Bu tezde, AFM manivelalarındaki ısıl sapmanın ısıl sapma modellemesiyle analizi ve AFM manivelalarındaki ısıl sapmanın deneysel karakterizasyonu raporlanmaktadır. AFM manivelalarındaki ısıl sapmanın önlenmesi için manivela ile termomekanik olarak eş olan çeşitli mikroyapılar MEMS teknolojisi ile tasarlanmaktadır. Son olarak, üretiminde 3 kat maske kullanılan MEMS mikroyapılar için üretim aşamaları geliştirilmiş.
Özet (Çeviri)
Single-molecule force spectroscopy has become a powerful research area. The most commonly used single-molecule force spectroscopy techniques are optical tweezers, magnetic tweezers and atomic force microscopy (AFM). For accuracy of the experiments in all three techniques, the ability to measure the position of the probe is critical. Thermal drift in the experimental setup is detrimental for the stability and accuracy of measurements. Temperature fluctuation in an AFM setup causes cantilever deflection. For long time scale experiments in AFM, ambient temperature stability becomes the main concern as AFM cantilever is usually a bimaterial structure and sensitive to temperature gradient. Thermal drift in AFM can be harmful for biomolecules anchored between a cantilever and a stationary sample surface as the force on the molecules increases if the cantilever deflects towards the surface. In addition, thermally induced deflection causes false force readings and a shift in zero-force level. In this thesis, the analysis of thermal drift in AFM cantilevers by thermal drift modeling and experimental characterization of the thermal drift in AFM cantilever is reported. With MEMS technology, various thermomechanically matched micro-stages in order to compensate the thermal drift in AFM cantilevers are designed. Lastly, fabrication process for the MEMS micro-stages, which is a 3-mask process, is developed.
Benzer Tezler
- Türkiye'de çıkartılan dumanlı kuvars, mavi kalsedon ve agat'ın optik ve elektrik özelliklerinin incelenmesi
Optical and electrical properties investigations of smoky quartz, blue chalcedony and agate from Turkey
LEVENT PARALI
Doktora
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiCelal Bayar ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NURDOĞAN CAN
- Basınçlı su reaktörleri U borulu buhar üreteçlerinin termo-hidrolik modellenmesi
Thermal-hydraulic analysis of U-tube steam generators for gressurized water reactors
SÜLEYMAN ÖZKAYNAK
- Analytical and experimental study of imperfections, stress, and temperature effects in circular MEMS gyroscopes
Yapısal kusurlar, stres ve sıcaklığın dairesel MEMS dönü-ölçerlere etkilerinin analitik ve deneysel olarak çalışılması
MEHRAN HOSSEINI PISHROBAT
Doktora
İngilizce
2024
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiElektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
Assist. Prof. Dr. ERDİNÇ TATAR
- Argon-SF6 gaz karışımlarının elektrıksel boşalmalarında yapay sınır ağı uygulamaları
Artificial neural network applications in electrical gaseous discharges of Argon-SF6 gas mixtures
SÜLEYMAN SUNGUR TEZCAN
Doktora
Türkçe
2011
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiGazi ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. M. SEZAİ DİNÇER
- Bizmut içeren III-V grubu yarıiletkenlerde elektronik transport mekanizmalarının incelenmesi
Investigation of electronic transport mechanisms in bismuth-containing III-V group semiconductors
MUSTAFA AYDIN
Doktora
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖMER DÖNMEZ