Tavlama sıcaklığının nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin optik ve elektriksel özelliklerine etkisinin incelenemesi
Study of annealing temperature effects on optical and electrical properties of nano sized vanadium oxide thin films
- Tez No: 304591
- Danışmanlar: DOÇ. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Vurmalı DC, Vanadyum Oksit, Optik Özellikler, Elektriksel Özellikler, Tavlama, Pulsed DC, Vanadium Oxide, Optical Properties, Electrical Properties, Annealing
- Yıl: 2012
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tezde vurmalı DC magnetron sıçratma metodu ile farklı altlıklar üzerine üretilmiş nano boyutta vanadyum oksit ince filmlerinin tavlama sıcaklığına bağlı değişimi incelenmiştir. İnce filmlerin karakterizasyonları FT-IR (fourier dönüşümlü kızıl ötesi), UV-Vis-NIR (ultra viyole-görünür bölge-yakın kızıl ötesi), Raman spektroskopileri, AFM (atomik kuvvet mikroskobu), FPP (dört nokta prob tekniği), XRD (X-ışını kırınımı) ve XPS (X-ışını foto elektron spektroskopisi) metotları ile gerçekleştirilmi?ştir. Tavlama sıcaklığının ve altlığın etkisinin incelenmesi için SiO2 ve Si/SiO2 altlıklar üzerine üretilen filmler, 75-230ºC aralığında belirli sıcaklıklara tavlanmış, karakterizasyonları yapılmış? ve tavlanmamış film özellikleri ile karşılaştırılmıştır. Filmlerin V6O13+V2O5+VO2 türlerinin birleşiminden oluştuğu tespit edilmiştir. Topografik özelliklerin, bu filmler için optik ve elektriksel özelliklerden ve tavlama sıcaklığından bağımsız olduğu ancak altlığın pürüzlülüğü ile tamamen ilişkili olduğu belirlenmiştir. Optik özelliklerin tavlama sıcaklığına bağlı olarak belirgin biçimde değişmediği, ancak elektriksel özelliklerin iyileştirilebileceği gösterilmiştir. Çalışmanın sonucunda oda sıcaklığı civarında geçiş özelliği gösteren, UV ışığı tamamen absorbe eden, TCR değerleri yüksek, nano boyutlu, karışık fazlı vanadyum oksit ince filmler üretilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, optical, electrical and structural characterization before and after annealing of pulsed DC magnetron sputter deposited, nano sized vanadium oxide thin films on different substrates were investigated. Thin film characterizations carried out with FT-IR (fourier transform infarred), UV-Vis-NIR (ultraviolet-visible-near infrared) and Raman spectroscopies, AFM (atomic force microscopy), FPP (four point probe), XRD (X-ray diffraction) and XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) methods. For the purpose of analysing the effects of substrates and annealing temperature, thin films has been deposited on to two different substrates, amorphous SiO2 and Si/SiO2, annealed at specific temperatures between 75-230ºC, characterized and compared with unannealed films. It?s determined that all films are composed of V6O13, V2O5 and VO2 species. Topographic features for these films, optical, electrical properties and annealing temperature were found to be independent, but are completely dependent on the roughness of the substrate. Depending on the annealing temperature, optical properties of vanadium oxide thin films don?t change significantly, but it?s shown that electrical properties can be improved. As a result of the study, nano-sized, mixed-phase vanadium oxide thin films, which absorb UV light completely, showing a transition near room temperature, with a high TCR (temperature coefficient of resistance) value were produced.
Benzer Tezler
- Processing, characterization and development of rare earth doped lead magnesium niobate ferroelectric ceramic capacitors by sol-gel technique
Sol-jel tekniği kullanılarak nadir toprak katkılı kurşun magnezyum niyobat ferroelektrik seramik kapasitörlerin üretimi, karakterizasyonu ve geliştirilmesi
MEHMET FARUK EBEOĞLUGİL
Doktora
İngilizce
2011
Metalurji MühendisliğiDokuz Eylül ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERDAL ÇELİK
- Nano tanecikli TiO2 ince filmlerinin yapısal, morfolojik ve optiksel özelliklerinin incelenmesi
The investigation of structural, morphological and optical properties of nano particle TiO2 thin films
SAVAŞ SÖNMEZOĞLU
Doktora
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiGaziosmanpaşa ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÜVEN ÇANKAYA
PROF. DR. NECMİ SERİN
- Nanocrystalline ZnO:Al thin films prepared by sol-gel dip coating technique and ZnO: Al/p-Si heterojunctions
Sol-gel daldırmalı kaplama tekniği ile üretilmiş nano yapılı ZnO:Al ince filmler ve ZnO: Al/p-Si heterokavşaklar
ÖZGE KARACASU
Yüksek Lisans
İngilizce
2010
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NİLGÜN BAYDOĞAN
PROF. DR. HÜSEYİN ÇİMENOĞLU
- Gas separation using inorganic/organic composite membranes
İnorganik/organik kompozit membranlarla gaz ayırma
AYLİN KERTİK
Yüksek Lisans
İngilizce
2010
Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik ÜniversitesiPolimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. Ş. BİRGÜL TANTEKİN ERSOLMAZ
- ZnO yarıiletken yapıların üretilmesi ve karakterizasyonu
Fabrication and characterization of ZnO semiconductor structures
SÜLEYMAN KAHRAMAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiMustafa Kemal ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSNÜ SALİH GÜDER