Al/ZnO/p-Si ve Au/CuO/p-Si Schottky yapıların farklı metotlarla elde edilmesi ve karakterizasyonu
Production and characterizations of Al/ZnO/p-Si and Au/CuO/p-Si Schottky structures by different methodes
- Tez No: 287592
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. H. ALİ ÇETİNKARA
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2011
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Mustafa Kemal Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada, [100] doğrultusuna sahip, B (Boron) katkılandırılmış do= 380µm kalınlığında ?= 1-10 ?cm özdirençli, önceden parlatılmış p-Si (Silisyum) wafer kullanılmıştır. Metal-yarıiletken arasına yerleştirilen iki farklı ince metal-oksit filmin diyot karakteristikleri üzerine etkisi araştırılmıştır. Al/ZnO/p-Si/Al ve Au/CuO/p-Si/Al diyot yapıları üretilmiştir. Metal yarıiletken arasına yerleştirilen ZnO ve CuO nano yapılı ince filmleri büyütmek için kolay uygulanabilir, düşük sıcaklıklı ve ucuz bir yöntem olan Kimyasal Banyo depolama (CBD) yöntemi ile çözeltiden büyütme yöntemlerinden biri olan Sol-Jel Spin Coating (döndürme kaplama) yöntemleri kullanılmıştır. Elde edilen filmlerin, Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) görüntüleri alınmıştır. Ayrıca, üretilen filmleri kristalografik olarak incelemek amacıyla X-Işını Kırınımı (XRD) analizlerinden elde edilen yapıların tanecik boyutları ve yönelimleri hakkında bilgiler edinilmiştir.Diyot yapısını oluşturabilmek amacıyla, yapının omik ve doğrultucu kısmı, Fiziksel Buhar Depolama (PVD) yöntemi (~10-5 Torr) ile oluşturulmuştur. Üretilen diyot yapılarının geleneksel I-V, Cheung&Cheung ve Norde fonksiyonları kullanılarak; idealite faktörü (n), engel yüksekliği (?B) ve seri direnç (Rs) değerleri hesaplanmıştır. Sonuç olarak iki farklı film büyütme yöntemi ile üretilen diyot yapılarının karakteristik parametrelerinden idealite faktörleri ve engel yüksekliklerinin birbiri ile uyum içersindeyken, seri direnç değerlerinin beklendiği gibi birbirinden bağımsız olduğu gözlenmiştir. Elde edilen sonuçların, literatür de yer alan sonuçlar ile uyumlu olduğu görülmüştür.
Özet (Çeviri)
In this study, previously polished B-doped p-type Si wafer which has a direction of ? 100 ? , a thickness of 380 ? m and resistivity of 1-10 ? cm was used. The effect of two different film deposition methods of a thin metal-oxide placed in between metal and semiconductor to diode characterizations have been investigated. Al/ZnO/p-Si/Al and Au/CuO/p-Si/Al diode structures were produced. In order to produce ZnO and CuO nanostructured thin films at the boundary of metal and semiconductor Chemical Bath Deposition (CBD) and Sol-gel Spin Coating methods which are easy to use, low temperature and cost effective were used. Scanning Electron Microscopy (SEM) pictures of the produced films were taken. Also, X-ray diffraction analyses were investigated in order to get information on the grain sizes and orientations of the structures.In order to produce a diode structure, ohmic and rectifier contacts were produced by evaporation under 10-5 Torr pressure by Physical Vapor Deposition (PVD) method. The ideality factor (n), barrier height (?B) and series resistance (Rs) values of the produced structures were calculated by conventional I-V, Cheung&Cheung and Norde functions. As a result, ideality factor and the barrier hight values of the diode structures which were produced by two different methods are in accordance with each other, but the serial resistance values of the films are not in accordance with each other as expected. The obtained results are found to be compatible with the results in the literature.
Benzer Tezler
- FDDI tabanlı bir ağ sistemi için etkin bir gerçek zamanlı iletişim yapısının tasarımı
Design of an efficient real time communication structure for an fddi based network system
FEZA BUZLUCA
Doktora
Türkçe
1997
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve Kontrolİstanbul Teknik ÜniversitesiBilgisayar Bilimleri Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EMRE HARMANCI
- Men Kültüyle ilgili Eskişehir, Afyon, Kütahya ve Pamukkale Arkeoloji müzelerinde bulunan bazı taş eserler
Some monuments concerning the cult of Men from Archaeology museums of Eskişehir, Afyon, Kütahya and Pamukkale
BANU BÜYÜKGÜN
- Gordion ve Ilıpınar kazılarından elde edilen arkeolojik kemiklerde mineral ve eser element oranları
Başlık çevirisi yok
ZÜBEYDE ÇELİK
- Yeni vic-dioksimlerin sentezi ve reaksiyonları
Synthesis and characterisation of three new vic-dioximes and their metal complexes
ZEHRA ALTUNTAŞ BAYIR
- Yerel olmayan plastisitede varlık ve teklik teoremleri
Existence and uniqueness theorems in nonlocal plasticity
REHA ARTAN