Geri Dön

Design and fabrication of electrostatically actuated nanotweezers by guided self-assembly

Elektrostatik hareket prensibi ile çalışan nano cımbızların tasarımı ve yönlendirilmiş kendinden birleşme metodu ile üretimi

PDF İndir

  1. Tez No: 182070
  2. Yazar: ÖZLEM ŞARDAN
  3. Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. ERDEM ALACA
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Makine Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Electrical and Electronics Engineering, Mechanical Engineering, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2006
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Koç Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Objelerle nano metrik hassasiyetle etkileşim kabiliyeti olan nano ölçekli uçlara sahipNano-Elektro-Mekanik Sistemlerin (NEMS) nano bilim ve teknoloji alanlarında pekçok uygulaması bulunmaktadır. Bunların arasında, DNA molekülleri, karbon nanotüpler, nano teller ve nano parçacıklar gibi nano ölçekli objelerin tutulmasını vehareket ettirilmesini mümkün kılan nano cımbızların önemi büyüktür.Bu yüksek lisans tezi, elektrostatik hareket prensibi ile çalışan ve yönlendirilmişkendinden birleşme metodu ile üretilen nano tel uçlara sahip nano cımbızlarıntasarım ve üretimi ile ilgilidir. Başlıca amaç, işlem karmaşıklığını azaltacak ve olasıtasarım değişikliklerini mümkün kılacak şekilde, nano tellerin mikro elektronik ile tekbir üretim serisi içerisinde bütünleşmesini sağlamaktır. İkinci bir amaç ise, yüksekhassasiyetle kontrol sağlayan ve nano ölçekli uçlara sahip bir hareketmekanizmasının tasarımıdır.Bu tezin ana başarıları, (1) yönlendirilmiş kendinden birleşme yöntemi ile nano telüretimi için elekrodepozisyon işleminin optimizasyonu, (2) elektrostatik prensiplehareket eden taraklardan oluşan bir hareket mekanizmasının tasarım ve analizi, (3)nano cımbızlar için alternatif bir termal hareket mekanizmasının tasarım ve analizi,(4) nano cımbızların Kopenhag'daki, Danimarka Teknik Üniversitesi (DTU) Mikro veNano Teknoloji Departmanı'nda (MIC), üretilmesi ve (5) nano cımbızların mekaniktest ve karakterizasyonunun yine MIC ve Koç Üniversitesi (KU) temiz oda tesislerindegerçekleştirilmesi şeklinde sıralanabilir.

Özet (Çeviri)

Nano-Electro-Mechanical Systems (NEMS) with nano-scale end-effectors, whichare capable of interacting with objects with nano-metric precision, have manyapplications in nano-science and technology. Among these, nanotweezers havea significant importance, which enable handling and manipulation of nano-scaleobjects such as DNA molecules, carbon nanotubes, nanowires and nanoparticles.This M.S. thesis deals with the design and fabrication of electrostatically actuatednanotweezers with nanowire end-effectors fabricated by guided self-assembly.Primary aim is achieving the integration of nanowires into microelectronics in asingle batch process, reducing process complexity and enabling possible designvariations. Secondary aim is the design of an actuation mechanism with nano-scale end-effectors and providing a high-precision control.Major accomplishments of this research can be listed as (1) optimization of theelectro-deposition process for nanowire fabrication by guided self-assembly, (2)design and analysis of an electrostatically driven comb actuation mechanism forthe nanotweezers, (3) design and analysis of an alternative thermal actuationmechanism for the nanotweezers and (4) fabrication of the nanotweezers in theDepartment of Micro and Nanotechnology (MIC) at Technical University ofDenmark (DTU), in Copenhagen and mechanical testing and characterization ofnanotweezers again at MIC and Koç University (KU) cleanroom facilities.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    75464

    Elektron ışın kaynağı ve otomotiv endüstrisindeki uygulamaları

    Başlık çevirisi yok

    ERCAN CİHAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1998

    Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SELAHATTİN ANIK

  2. Tez No

    34125

    Design and fabrication of mos solar cells

    Mos güneş pillerinin tasarım ve yapımı

    HAYRİYE TÜTÜNCÜLER

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    1994

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGaziantep Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. SADETTİN ÖZYAZICI

  3. Tez No

    180872

    Design and implementation of microwave lumped components and system integration using MEMS technology

    Mikrodalga toplu devre elemanlarının ve sistem entegrasyonunun MEMS teknolojisi ile tasarımı ve yapımı

    ENGİN UFUK TEMOÇİN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2006

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ŞİMŞEK DEMİR

    PROF. DR. TAYFUN AKIN

  4. Tez No

    75890

    Silicion micromachined capacitive pressure sensors for industrial and biomedical applications

    Silisyum mikroişleme yöntemi ile üretilen endüstriyel ve biomedikal uygulamalar için kapasite basınç sensörleri

    ORHAN ŞEVKET AKAR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    1998

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. TAYFUN AKIN

  5. Tez No

    75488

    Sahada programlanabilir kapı dizileri ile lojik devre tasarımı ve VHDL kullanılarak bazı devrelerin gerçekleştirilmesi

    Başlık çevirisi yok

    ATEŞ BERNA

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1998

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. AHMET DERVİŞOĞLU

Geri Dön