Fabrication and characterization of aluminum oxide and silicon/aluminum oxide films with Si nanocrystals formed by magnetron co-sputtering technique
Aluminyum oksit ve silisyum/aluminyum oksit ince filmlerin mıknatıslı eş saçtırma tekniği ile üretilmesi ve incelenmesi
- Tez No: 176788
- Danışmanlar: PROF. DR. RAŞİT TURAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Bilim ve Teknoloji, Physics and Physics Engineering, Science and Technology
- Anahtar Kelimeler: Alümina, X ışını fotoelektron spektroskopisi, X ışını kırınımı, Alumina, X ray photoelectron spectroscopy, X ray diffraction
- Yıl: 2008
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Doğru akım (DC) ve radyo frekanslı (RF) mıknatıslı eş saçtırma tekniği, değişik kompozisyonlu ince film üretimi için kullanılan en uygun tekniklerden biridir. Bu çalışmada, Al2O3 ve Si/Al2O3 ince filmleri mıknatıslı eş saçtırma yöntemi ile üretilmiştir. Al2O3 ince filmler için, stokiyometrik, optik ve kristalografikanalizler gerçekleştirilmiştir. Si içeren Al2O3 örnekler için ise, Si nanokristallerin oluşum koşulları incelenmiştir. Bunun için, ince filmler Si (100) alttaşlarınüzerine saçtırılmıştır. Al2O3 matrisin ve Si nanokristallerin değişik sıcaklıklardaki evrimini incelemek için örnekler üretim sonrası fırınlamaya tabi tutulmuştur. Kristalografik özellikler ve nanokristallerin boyutları X-Işını Kırınımı (XRD) tekniği ile belirlenmiştir. Atomik derişimlerdeki değişim ve bağ oluşumları XIşını Fotoelektron Spektroskopisi (XPS) ile incelenmiştir. Si nanokristallerin ve Al2O3 matrisin ışıma özellikleri ise Fotoışıma Spektroskopisi (PL) ile incelenmiştir. Son olarak, matristen ve nanokristallerden gelen karakteristik ışımalar ayrı ayrı tanımlanmıştır.
Özet (Çeviri)
DC and RF magnetron co-sputtering techniques are one of the most suitable techniques in fabrication of thin films with different compositions. In this work, Al2O3 and Si/Al2O3 thin films were fabricated by using magnetron co-sputtering technique. For Al2O3 films, the stoichiometric, optical and crystallographic analyses were performed. For Si contained Al2O3 films, the formation conditions of Si nanocrystals were investigated. To do so, these thin films were sputtered on Si (100) substrates. Post annealing was done in order to clarify the evolution of Al2O3 matrix and Si nanocrystals at different temperatures. Crystallographic properties and size of the nanocrystals were investigated by X-ray diffraction (XRD) method. The variation of the atomic concentrations and bond formations were investigated with X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The luminescent behaviors of Si nanocrystals and Al2O3 matrix were investigated with photoluminescence (PL) spectroscopy. Finally, the characteristic emissions from the matrix and the nanocrystals were separately identified.
Benzer Tezler
- Seydişehir alüminasında kalıplamayla seramik malzemelerin üretilmesi
Başlık çevirisi yok
TURAN TAMBAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SERDAR ÖZGEN
- 3um N-kuyu CMOS teknolojisi ile test kırmığı tasarımı ve tranzistor eşik gerilimi ayarı
Test chip design for 3 um N-well CMOS fabrication technology and threshold voltage adjustment
ZEYNEP D. TOROS
Yüksek Lisans
Türkçe
1991
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. DURAN LEBLEBİCİ
- Al-butoksit'in sol-jel yöntemi ile modifikasyonu ve oluşan ürünün kaplamada kullanılması
Modification of Al-butoxide by the sol-gel process and using the product as coating material
GAMZE GÜL AVCI
- Alümina fiber takviyeli Al-si metal matriksli kompozitlerin üretimi ve mikroyapı-özellik ilişkilerinin incelenmesi
production of alumina fiber reinforced Al-si metal matrix composites and the investigation of their microstructure-propetry relation ships
HATEM AKBULUT
- Flexible polymer display technologies
Esnek polimer ekran teknolojileri
ALİ OSMAN SEVİM
Yüksek Lisans
İngilizce
2008
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiBoğaziçi ÜniversitesiSistem ve Kontrol Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞENOL MUTLU