AlGaN ince filminin ısıl işlem sonrası yapısal ve optiksel özelliklerinin incelenmesi
An investigation of optical and structural properties of AlGaN thin films after thermal processing
- Tez No: 176683
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ORHAN ZEYBEK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: AlGaN / AlN / X-ışınları / AFM / Fotolüminesans / Elipsometri / Yarıiletken, Atomik kuvvet mikroskobu, Fotolüminesans, X ışını kırınımı, Yarı iletken ince filmler, AlGaN / AlN / XRD/ AFM / Photoluminescence / Semiconductor / Superlattice, Atomic force microscope, Photoluminescence, X ray diffraction, Semiconductor thin films
- Yıl: 2007
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Balıkesir Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Kimya Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada Metal Organik Kimyasal Buhar Birikim (MOCVD) tekniğiyle safir alttaş üzerine büyütülen çoklu yapılı AlxGa1-xN (x=0.43) yarıiletken ince filmlerin ısıl işlem sonrası yapısal ve optik özellikleri incelendi. Malzemenin yapısal ve optiksel özellikleri yüksek çözünürlüklü X-ışınları kırınımı, atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ve fotolüminesans (PL) sistemleri kullanılarak belirlendi. Örneklerin, farklı sıcaklıklarda hızlı ısıl tavlama (RTA) işlemine tabi tutularak, kristal yapısı, lüminesans özellikleri ve yüzey morfolojisi tavlama sıcaklığına göre incelendi. Yapının yüzey morfolojisi 2x2 ?m2 ve 5x5 ?m2 lik yüzeyleri için oda sıcaklığı ve atmosferik basınç altında AFM tekniği ile incelendi. Yüzey pürüzlülüğünün cihaz uygulamaları açısından kabul edilebilir ölçekte olduğu gözlendi. PL ölçümleri ile malzemenin optik özellikleri incelendi. XRD ile örneklerdeki Al yüzdesi ve kristal kaliteleri belirlendi. Ulaşılan sonuçların literatürdeki benzer çalışmalarla uyum içinde olduğu gözlendi.
Özet (Çeviri)
In this study, optical and structural properties of superlattice AlxGa1-xN semiconductor thin films grown on A2O3 substrate after thermal processing have been investigated. The quality and surface morphology of the semiconductor thin films by using high resolution X-ray diffraction (HR-XRD), atomic force microscopy (AFM) and photoluminescence (PL) have been determined. Under rapid thermal annealing (RTA) process at various temperatures, crystal structure, properties of luminescence, surface morphology of the samples have been investigated against annealing temperatures. Under room temperature and atmospheric pressure, surface morphology for the 2x2 ?m2 and 5x5 ?m2 surfaces has been studied using AFM technique. It has been observed that surface roughness can be acceptable for device practice. Optical properties of the superlattice have been investigated using PL measurements. The crystal quality and Al percentages of the samples have been determined with XRD. The obtained results are in good agreement with similar studies in the literature.
Benzer Tezler
- CoPt ince filminin yüzey ve manyetik karakterizasyonu
Magnetic and surface characterization of CoPt thin film
NUH KOÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. OSMAN ÖZTÜRK
- EDXRF tekniğini kullanarak CuInSe2 ince filminin kalınlık tayini
Determination of thickness for CuInSe2 thin film using the EDXRF technique
AHMET ÇELİK
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiKaradeniz Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. UĞUR ÇEVİK
- y-ışınlarının Cu-GaAs eklemlerin elektriksel karakteristiklerine etkisi
Effect of y-irradiation on the electrical characteristics of Cu-GaAs junctions
SERÇO SERKİS YEŞİLKAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
1999
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TAYYAR CAFEROV
- Corrosion fatigue properties of 316L implant steel by double cantilever beams bending machine
Çift ankastre kirişli eğme makinası ile 316L implant çeliğinin yorulmalı korozyon özellikleri
ZAFER AZEM
Yüksek Lisans
İngilizce
1999
Makine MühendisliğiDokuz Eylül ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AHMET ÇAKIR
- Characterization of biaxially oriented polypropylene films
Başlık çevirisi yok
ZEYNEP SARAÇ
Yüksek Lisans
İngilizce
1994
KimyaBoğaziçi ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. IVET BAHAR