Optical characterization of silicon based hydrogenated amorphous thin films by UV-Visible and infrared measurements
Silikon tabanlı hidrojenlenmiş amorf ince filmlerin mor ötesi-görünür ve kızılötesi ölçümler ile optik karakterizasyonu
- Tez No: 172294
- Danışmanlar: PROF.DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Geçirme, Yansıma, FT-IR, Mor Ötesi, Görünür Bölge, Kırılma indisi, Soğrulma Katsayısı, İnce Film, Optik Karakterizasyon, Transmittance, Reflectance, FT-IR, Visible, Refractive Index, Absorption Coefficient, Thin Film, Optical Characterization IV
- Yıl: 2006
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Bölümü
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
öz SİLİKON TABANLI HİDROJENLENMİŞ AMORF İNCE FİLMLERİN MOR ÖTESİ-GÖRÜNÜR VE KIZILÖTESİ ÖLÇÜMLER İLE OPTİK KARAKTERİZASYONU KILIÇ, İlker Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu Ocak 2006, 101 sayfa. Çeşitli karbon içerikli hidrojenlenmiş amorf silisyum (a-Si:H) ve hidrojenlenmiş amorf silisyum ince filmler (a-Si:H), plazmayla hızlandırılmış kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemiyle çeşitli tabanlar üzerine biriktirilmiştir. Bu filmlerin geçirgenlik tayfları mor ötesi-görünür bölgede ölçülerek belirlenmiş ve elde edilen veriler (kırılma indisi, kalınlık, vs.), ilgili fiziksel sabitleri bulmak için analiz edilmişlerdir. Bu filmlerin kızılötesi tayflarım belirlemek için fourier dönüşümlü kızılötesi (FT-IR) spektrometre yöntemi kullanılmıştır. Bu şekilde elde edilen veriler filimlerin bağ yapılarının belirlenmesinde kullanılmıştır. Etilen (C2H4) gazının göreceli konsantrasyonunun ince film bağ yapışma ve optik sabitlere etkileri sorgulanmıştır.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT OPTICAL CHARACTERIZATION OF SILICON BASED HYDROGENATED AMORPHOUS THIN FILMS BY UV-VISIBLE AND INFRARED MEASUREMENTS KILIÇ, İlker Ms., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu January 2006, 101 pages. Various carbon content hydrogenated amorphous silicon carbide (a-Sii-a-C^H) and hydrogenated amorphous sihcon (a-Si:H) thin films have been deposited on various substrates by using plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) technique. Transmission spectra of these films have been determined within UV- Visible region and the obtained data were analysed to find related physical constants such as; refractive indices, thicknesses, etc. Fourier transform infrared (FT-IR) spectrometry technique has been used to determine transmis sion & reflection type spectra of these films. Obtained data were analysed to determine bond structures of the films. Effects of relative concentration of ethy lene (C2H4) gas on thin film bond structure and on optical constants have been questioned.
Benzer Tezler
- Silikon fotodiyotların optik karakterizasyonu
Optical characterization of silicon photodiodes
MURAT DURAK
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. M. HASAN ASLAN
- Realization of detector based spectral responsivity scale from ultraviollet to near infrared regions of electromagnetic spectrum
Dedektör tabanlı tayfsal duyarlılık ölçeğinin elektromanyetik tayfının morötesi ile yakın kızılötesi bölgeleri arasında oluşturulması
ÖZCAN BAZKIR
Doktora
İngilizce
2004
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. AKİF ESENDEMİR
DOÇ. DR. SEVİLAY UĞUR
- Nanokristal yapılı silisyumlarda sıcaklığa ve lazer gücüne bağlı fotoışıma
Temperature and laser power dependence of photoluminescence in nanocrystalline silicone
İBRAHİM İNANÇ
Yüksek Lisans
İngilizce
2004
Fizik ve Fizik MühendisliğiBoğaziçi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ.DR. ALİ SERPENGÜZEL
PROF. GÜLEN AKTAŞ
- Katalitik büyütme ile elde edilen II-VI grubu nanotellerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi
An investigation of physical properties of group II-VI nanowires obtained with catalytic growth
NESLİHAN ÜZAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. M. ÇETİN ARIKAN
- Alümina fiber takviyeli Al-si metal matriksli kompozitlerin üretimi ve mikroyapı-özellik ilişkilerinin incelenmesi
production of alumina fiber reinforced Al-si metal matrix composites and the investigation of their microstructure-propetry relation ships
HATEM AKBULUT