Development of a Micro-fabrication process simulator for Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)
Mikro-Elektro-Mekanik-Sistemler için bir Mikro-üretim simülatörünün geliştirilmesi
- Tez No: 166940
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. MELİK DÖLEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Islak kazıma, Yönbağımsız Kazıma, Katkılama, Hücresel Otomat, Mikro-üretim Benzetimlenmesi, Malzeme Kaplama, Kuru Kazıma, Derin tepkin İyon Kazıması, Wet Etching, Anisotropic Etching, Doping, Cellular Automata, Micro-fabrication simulation, Material Deposition, Isotropic Etching, Dry Etching, Deep Reactive Ion Etching IV
- Yıl: 2005
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
oz MİKRO-ELEKTRO-MEKANİK-SİSTEMLER İÇİN BİR MİKRO-ÜRETİM SİMÜLATÖRÜNÜN GELİŞTİRİLMESİ Yıldırım, Alper Yüksek Lisans, Makine Mühendisliği Bölümü Tez Yöneticisi: Y. Doç.. Dr. Melik Dölen Aralık 2005, 140 sayfa Bu çalışmanın amacı mikro-fabrikasyon proseslerinin sonuçlarım önceden sağlayarak Mikro-Elektro-Mekanik-Sistennerinin dizaynım hızlandıracak bir bilgisayar programı tasarlamaktır. Silikon plakalarının yönbağımlı kazınma ve yönbağımsız kazınmaları bu ortamda benzetimlenecektir. Benzer olarak, katkılama ve kaplama gibi ekleme yöntemleri de bir hücresel otomat bazlı algoritma ile OpenGL kütüphanesi fonksiyonları kullanılarak, benzetimlenebilecektir. Entegre bir maske dizayn editörüne sahip program ile kompleks maskeler tasarlanabilir ve sonuçlar uzamsal konumları ve bulundukları düzlemlere göre hücresel otomat hücreleri olarak ekranda gösterilir. Sonuçta bulunan kazınmış şekiller deneysel sonuçlarla nicelik ve nitelik bakımından uzlaşmaktadır.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT DEVELOPMENT OF A MICRO-FABRICATION PROCESS SIMULATOR FOR MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) Yıldırım, Alper M.S, Department of Mechanical Engineering Supervisor: Asst. Prof. Dr. Melik Dölen December 2005, 140 pages The aim of this study is to devise a computer simulation tool, which will speed up the design of Micro-Electro-Mechanical Systems by providing the results of the micro-fabrication processes in advance. Anisotropic etching along with isotropic etching of silicon wafers are to be simulated in this environment. Similarly, additive processes like doping and material deposition could be simulated by means of a Cellular Automata based algorithm along with the use of OpenGL library functions. Equipped with an integrated mask design editor, complex mask patterns can be created by the software and the results are displayed by the Cellular Automata cells based on their spatial location and plane. The resultant etched shapes are in agreement with the experimental results both qualitatively and quantitatively.
Benzer Tezler
- MEMS accelerometers and gyroscopes for inertial measurement units
Ataletsel ölçüm birimi için MEMS ivmeölçerler ve dönüölçerler
MEHMET AKİF ERİŞMİŞ
Yüksek Lisans
İngilizce
2004
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TAYFUN AKIN
- Statistical design and yield enhancement of low voltage cmos VLSI circuits
Düşük gerilimli analog VLSI devrelerin istatistiksel tasarımı
TUNA B. TARIM
Doktora
İngilizce
1999
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. H. HAKAN KUNTMAN
- Al-Sic metal matrisli karma malzemelerinin deformasyon davranışının sonlu elemanlar yöntemi ile parametrik analizi
Başlık çevirisi yok
ŞAFAK YILMAZ
- Metal infiltre edilmiş mikro poroz karbon kompozitlerin aşınma ve sürtünme davranışının karakterizasyonu
Başlık çevirisi yok
GÜLTEKİN GÖLLER
Doktora
Türkçe
1997
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ADNAN TEKİN
- Design and realization of a microassembly workstation
Mikromontaj iş istasyonu tasarımı ve üretümi
EMRAH DENİZ KUNT
Yüksek Lisans
İngilizce
2006
Makine MühendisliğiSabancı ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ASİF SABANOVİC