Ark-FBB (ARC-PVD) tekniği ile titanyum nitrür (TiN) kaplanmış bakır yüzeylerin elektriksel özelliklerinin incelenmesi
Analysing of electrical properties of titanium nitride (TiN) films deposited by ARC-PVD on copper substrates
- Tez No: 128195
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ERDOĞAN TARCAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Ark-FBB, Özdirenç, Dört Probe Yöntemi, İnce Film, Titanyum Nitür, Bakır, Buhar biriktirme, Elektriksel özellikler, Titanyum nitrür, Öz direnç, İnce filmler, Arc-PVD, Resistiviy, Four Probe Method, Thin Film, Titanium Nitride, Copper, Vapour deposition, Electrical properties, Resistivity, Thin films
- Yıl: 2002
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Kocaeli Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
ARK FİZİKSEL BUHAR BİRİKTİRME TEKNİĞİ İLE TİTANYUM NİTRÜR KAPLANMIŞ BAKIR YÜZEYLERİN ELEKTRİKSEL ÖZELLİKLERİNİN İNCELENMESİ
Özet (Çeviri)
ANALYSING OF ELECTRICAL PROPERTIES OF TITANIUM NITRIDE FILMS DEPOSITED BY ARC PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION TECHNIQUE ON COPPER SUBSTRATES
Benzer Tezler
- 316L paslanmaz çelik üzerinde katodik ark FBB ve oxidasyon yöntemleriyle üretilen zirkonyum oksit kaplamaları özellikleri
Properties of zirconium oxide coatings on 316-L stainless steels produced by cathodic arc PUD and oxidation techniques
ERDEM ŞİRELİ
Yüksek Lisans
Türkçe
1999
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ÜRGEN
- Mo-N esaslı PVD kaplamaların oksidasyon davranışları
The oxidation behaviour of Mo-N coatings deposited on alumina by cathodic ARC PVD method
MURAT KESİK
Yüksek Lisans
Türkçe
1997
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. M. KELAMİ ŞEŞEN
- Katodik ark FBB yöntemi ile dekoratif amaçlı Cr-O-N kaplamaların üretilmesi
Production of Cr-O-N coatings by cathodic arc PVD, for decorative purposes
SEMİH ÖNCEL
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ÜRGEN
- Ark fiziksel buhar biriktirme/magnetron sıçratma hibrid tekniği ile nanokompozit Cr-N-Cu kaplamaların üretimi ve karakterizasyonu
Deposition and characterization of nanocomposite Cr-N-Cu films by cathodic arc PVD/magnetron sputtering hybrid system
ERHAN ÖZER
Yüksek Lisans
Türkçe
2004
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF.DR. MUSTAFA ÜRGEN
- Zirkonyum hafnium nitrür kaplamaların mekanik ve aşınma özelliklerinin incelenmesi
An investigation on mechanical and tribological properties of zirconium hafnium nitride coatings
ERDEM ATAR
Doktora
Türkçe
2004
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SABRİ KAYALI